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专利号: 2018108343116
申请人: 温州怡沃机械科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 加工水泥、黏土或石料
更新日期:2023-08-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体集成电路晶圆加工生产线,包括底板(1),其特征在于:底板(1)的上端中部安装有磨边装置(2),底板(1)的前后两侧对称安装有移动电动滑块(3),移动电动滑块(3)上安装有升降调节气缸(4),升降调节气缸(4)的顶端通过法兰安装在升降从动板(5)上,升降从动板(5)的中部设置有安装槽,升降从动板(5)上安装有切片装置(6),切片装置(6)与安装槽相对应,且切片装置(6)位于磨边装置(2)的正上方;

所述切片装置(6)包括安装在升降从动板(5)上的切片放置管(61),切片放置管(61)的内壁上沿其周向方向均匀的设置有橡胶防滑块(62),切片放置管(61)的上端安装有切片支撑架(63),切片支撑架(63)的内壁上安装有切片推送气缸(64),切片推送气缸(64)顶端通过法兰安装在切片固定块(65)上,升降从动板(5)的下端安装有环形电动滑块(68),环形电动滑块(68)上安装有转动支撑架(69),转动支撑架(69)的侧壁上安装有切片执行气缸(610),切片执行气缸(610)的顶端通过法兰安装在切割电动锯片(611)上;

所述磨边装置(2)包括通过电机座安装在底板(1)上的磨边电机(21),磨边电机(21)的输出轴上通过联轴器与磨边蜗杆(22)的一端相连,磨边蜗杆(22)的另一端通过轴承安装在磨边立板(23)上,磨边立板(23)安装在底板(1)上,磨边蜗杆(22)上从左往右等间距的设置有执行磨边机构(24);

所述执行磨边机构(24)包括通过轴承安装在底板(1)上的磨边柱(241),磨边柱(241)的外壁上套设有磨边涡轮(246),磨边涡轮(246)啮合在磨边蜗杆(22)上,磨边柱(241)上安装有磨边旋转架(242),磨边旋转架(242)的上端内壁上安装有磨边伸缩气缸(243),磨边伸缩气缸(243)的顶端通过法兰安装在磨边支撑块(244)上,磨边旋转架(242)的外壁上通过滑动配合方式连接有磨边作业架(245),磨边作业架(245)的下端固定在底板(1)上,磨边作业架(245)的内侧壁上沿其周向方向均匀设置有磨边作业支链(25),磨边作业架(245)的外侧壁上沿其周向方向均匀的设置有磨边定位支链(26)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路晶圆加工生产线,其特征在于:所述磨边作业支链(25)包括通过磨边伸缩杆(251)安装在磨边作业架(245)内侧壁上的磨边工作架(252),磨边作业架(245)上套设有磨边复位弹簧(253),磨边工作架(252)呈U字型结构,且磨边工作架(252)由金刚石抛光磨料组成,磨边工作架(252)的侧壁上通过销轴链接有磨边调节杆(254),磨边调节杆(254)通过滑动配合方式与磨边作业架(245)的内壁相连,磨边调节杆(254)的侧壁上通过销轴与磨边调节气缸(255)的顶端相连,磨边调节气缸(255)的底端通过销轴安装在磨边挡板(256)上,磨边挡板(256)安装在磨边作业架(245)的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路晶圆加工生产线,其特征在于:所述磨边定位支链(26)包括包括安装在磨边作业架(245)外壁上的磨边定位架(261),磨边定位架(261)上通过销轴安装有磨边定位杆(262),磨边定位杆(262)呈Z字型结构,磨边定位杆(262)的下端侧壁上通过销轴与磨边定位气缸(263)的顶端相连,磨边定位气缸(263)的底端通过销轴安装在磨边作业架(245)的外壁上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路晶圆加工生产线,其特征在于:所述橡胶防滑块(62)的上端为向外倾斜机构。

5.根据权利要求3所述的一种半导体集成电路晶圆加工生产线,其特征在于:所述磨边定位杆(262)的上端通过滚动配合方式安装有滚动球(264)。