1.一种松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂,其特征在于,所述松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的结构式如下:
2.一种根据权利要求1所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的合成方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)缓蚀剂中间体的制备:脱氢松香酸、三乙烯四胺和二甲苯在升温条件下反应,反应完全后进行减压蒸馏操作,得到松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂中间体,反应式如下:(2)曼尼希反应:松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂中间体、亚磷酸和甲醛在酸性催化环境下回流反应,反应结束后萃取分液得到松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂,反应式如下:
3.根据权利要求2所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的合成方法,其特征在于,缓蚀剂中间体的制备具体包括如下步骤:a.将脱氢松香酸加入装有分水器的干燥四口瓶中,升温至220-240℃,用恒压漏斗缓慢滴加三乙烯四胺和二甲苯,反应3-6h;
b.继续升温至270-280℃,回流环化反应3-6h,并利用分水器分水;
c.减压蒸馏出二甲苯,得到松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂中间体。
4.根据权利要求2或3所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的合成方法,其特征在于,脱氢松香酸、三乙烯四胺和二甲苯的摩尔比为1:1.1-1.3:0.8-1.1。
5.根据权利要求3所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的合成方法,其特征在于,三乙烯四胺和二甲苯同时滴加,或者按照二甲苯、三乙烯四胺的顺序依次滴加。
6.根据权利要求2所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的合成方法,其特征在于,曼尼希反应具体包括如下步骤:a.在酸性催化环境下,加入松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂中间体和亚磷酸于100-110℃加热回流1.5-2.5h;
b.用恒压漏斗缓慢滴加甲醛,回流反应1-2h;
c.反应结束后冷却至室温,加入一定量饱和食盐水进行洗涤分液,将分离出的粗产物加入一定量乙酸乙酯萃取分液,得到松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂。
7.根据权利要求2或6所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的合成方法,其特征在于,松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂中间体、亚磷酸、甲醛的摩尔比为1:1:1.5-3。
8.一种根据权利要求1-7任一项所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的应用,其特征在于,所述松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的使用浓度为1-4g/L。
9.根据权利要求8所述的松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的应用,其特征在于,所述松香基咪唑啉衍生物缓蚀剂的使用浓度为3g/L。