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专利号: 2018109206826
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种复合相变薄膜材料(Si/Ge2Sb2Te5/Si)n,其特征在于:由10组Si/Ge2Sb2Te5/Si复合薄膜单元组成,每一组复合薄膜单元包括两层Si纳米薄膜和一层Ge2Sb2Te5纳米薄膜,Ge2Sb2Te5薄膜的两侧表面由Si薄膜完全包覆;相邻的两组Si/Ge2Sb2Te5/Si复合薄膜单元共用一层Si薄膜;组成复合相变薄膜材料(Si/Ge2Sb2Te5/Si)n的 Si纳米薄膜的厚度为5nm,Ge2Sb2Te5纳米薄膜的厚度为5nm。