1.一种超纯石英砂及其提纯工艺，其特征在于：包括如下步骤：

1)选取二氧化硅含量在98％以上的石英砂为原料，加入浓度为1～20mol/L无机混酸溶液，置于撞击流混合器中加热至40～100℃，反复撞击清洗2～6h，达到清除表层矿物杂质和粒度均化的目的；将混合器内清洗后的石英砂进行固液分离，得到初洗砂；

2)将初洗砂分为2份，分别进行加热和冷却处理，一份初洗砂加热到粉碎300～1000℃，另一份初洗砂深冷至-150～-270℃；制备好的冷砂和热砂同时送入耐高温撞击流混合装置，以10-35m/s的撞击速度对撞破碎，进行破碎气液包裹体和表面造裂，形成二次粒度均化石英砂产品；

3)将二次粒度均化石英砂置于水热反应釜中，加入浓度为0.5～9mol/L的无机混酸，密封加热至80～200℃酸浸12～24h，然后滤除酸液并用高纯水清洗3次；

4)将步骤3)中的石英砂置于水热反应釜中，加入浓度为1～4mol/L的有机酸溶液中，密封加热至70～140℃酸浸4-9h，然后滤除酸液并用高纯水清洗3次，制得酸洗石英砂；

5)将步骤4)中的酸洗石英料置于100～200℃温度的水热反应釜内，加入超纯水深度浸取除杂4-6h，然后滤除超纯水浸取液，再用超纯水清洗3-5次直至完全去除杂质；

6)清洗后的石英砂置于100℃下干燥脱水，再将其加热到850-1000℃进行脱羟基处理，即可得到超纯石英砂产品。

2.根据权利要求1中所述的一种超纯石英砂及其提纯工艺，其特征在于：步骤1)无机混酸的浓度为4～15mol/L，其中含氟酸浓度不低于0.4mol/L；无机混酸可以是氢氟酸(HF)、氟磷酸(HPF6)、氟氧酸(HOF)、氟硫酸(HSO3F)等含氟酸与盐酸(HCl)、亚氯酸(HClO2)、次氯酸(HClO)、氯酸(HClO3)、高氯酸(HClO4)、氯磺酸(HSO3Cl)、硫酸(H2SO4)、亚硫酸(H2SO3)、次硫酸(H2SO2)、过氧一硫酸(H2SO5)、过二硫酸(H2S2O8)、连四硫酸(H2S4O6)、连二亚硫酸(H2S2O4)、硫代硫酸(H2S2O3)、硝酸(HNO3)、磷酸(H3PO4)、亚磷酸(H3PO3)、次磷酸(H3PO2)、偏磷酸(HPO3)中的一种或者多种酸进行混合。

3.根据权利要求1中所述的一种超纯石英砂及其提纯工艺，其特征在于：步骤3)无机混酸的浓度为2～5mol/L，其中含氟酸浓度不低于0.4mol/L；无机混酸可以是氢氟酸(HF)、氟磷酸(HPF6)、氟氧酸(HOF)、氟硫酸(HSO3F)等含氟酸与盐酸(HCl)、亚氯酸(HClO2)、次氯酸(HClO)、氯酸(HClO3)、高氯酸(HClO4)、氯磺酸(HSO3Cl)、硫酸(H2SO4)、亚硫酸(H2SO3)、次硫酸(H2SO2)、过氧一硫酸(H2SO5)、过二硫酸(H2S2O8)、连四硫酸(H2S4O6)、连二亚硫酸(H2S2O4)、硫代硫酸(H2S2O3)、硝酸(HNO3)、磷酸(H3PO4)、亚磷酸(H3PO3)、次磷酸(H3PO2)、偏磷酸(HPO3)中的一种或者多种酸进行混合。

4.根据权利要求1中所述的一种超纯石英砂及其提纯工艺，其特征在于：步骤4)有机酸结构中应含有羧基(-COOH)、磺酸(-SO3H)、亚磺酸(RSOOH)、硫羧酸(RCOSH)等酸性基团和氨基配体，或者含有酸性基团和羟基配体。