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专利号: 2018110343006
申请人: 苏州鱼得水电气科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有散热结构的晶圆封装,包括:半导体衬底,具有相对的上表面和下表面;位于所述上表面的多个焊盘;位于所述多个焊盘上的多个焊球;覆盖所述上表面的阻焊层,所述阻焊层露出所述多个焊球并且未覆盖所述上表面的边缘位置;环绕所述阻焊层的金属导热层,所述金属导热层仅位于所述上表面的边缘位置;位于所述下表面的散热层;以及连接所述金属导热层和所述散热层的多个导热通孔;

其特征在于,所述金属导热层的厚度小于所述阻焊层的厚度;所述阻焊层的边缘具有一阶梯,所述金属导热层的厚度不大于所述阶梯的厚度;所述金属导热层紧贴于所述阶梯的边缘;所述阶梯的厚度为所述阻焊层厚度的一半。

2.根据权利要求1所述的具有散热结构的晶圆封装,其特征在于,所述阻焊层厚度为

100-200微米。