1.一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置,包括操作板(1)、四组支腿(2)、后侧板(3)、切割电机(4)、传动皮带(5)和金刚石切割片(6),后侧板(3)的底端与操作板(1)的顶端后侧连接,并且四组支腿(2)的顶端分别与操作板(1)底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接,切割电机(4)安装在后侧板(3)的后端右侧中部,并且切割电机(4)的前部输出端设置有传动轴,传动轴的前端自后侧板(3)的后端穿过后侧板(3)的内部并伸出至后侧板(3)的前端外界,传动轴的前端设置有皮带主动轮,后侧板(3)的前端左侧中部设置有左固定槽,并且左固定槽内部设置有左滚珠轴承,金刚石切割片(6)的后端同心设置有支撑轴,并且支撑轴的后端插入并固定安装至左滚珠轴承的前端内部,并且支撑轴的外部固定套装有皮带从动轮,传动皮带(5)分别套装在皮带主动轮和皮带从动轮上;其特征在于,包括左限位板(7)、右限位板、左滑板(8)、右滑板、顶板(9)、调节丝杠(10)、带动电机(11)、两组左上导轮(12)、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮和两组锁紧螺栓(13),所述左限位板(7)和右限位板的底端分别与所述操作板(1)顶端左侧区域的左侧和右侧连接,并且左限位板(7)的右端纵向设置有左限位滑槽,右限位板的左端对应纵向设置有右限位滑槽,所述左滑板(8)的左端与所述左限位板(7)的右端可滑动接触,并且所述左滑板(8)包括左上滑板和左下滑板,所述左下滑板的左端设置有左限位滑块,左限位滑块可滑动设置在左限位滑槽内部,所述右滑板的右端与所述右限位板的左端可滑动接触,并且所述右滑板的右端设置有右限位滑块,右限位滑块可滑动设置在右限位滑槽内部,所述顶板(9)的左端与左滑板(8)的右端下侧连接,顶板(9)的右端与右滑板的左端下侧连接,所述左上滑板的底端与左侧与左下滑板的顶端左侧通过铰链铰接设置,并且所述左上滑板顶端的前侧和后侧均纵向设置有上下贯穿的螺栓通孔,并且所述左下滑板顶端的前侧和后侧均设置有螺纹孔,所述两组锁紧螺栓(13)的底端分别穿过两组螺栓通孔内部分别插入并螺装至两组螺纹孔内部,所述两组左上导轮(12)分别可旋转设置在左上滑板的右端的前端和下侧,并且所述两组左下导轮分别可旋转设置在左下滑板右端的前侧和后侧,所述两组右上导轮的分别可旋转设置在右滑板左端的上前侧和上后侧,并且所述两组右下导轮分别可旋转设置在右滑板左端的下前侧和下后侧,所述带动电机(11)的底端安装在顶板(9)的顶端中部,并且带动电机(11)的前部输出端设置有带动胶轮,所述操作板(1)的底端纵向设置有上下贯穿的螺纹通孔,并且所述螺纹通孔位于左限位板(7)和右限位板的中部,所述调节丝杠(10)的顶端自操作板(1)的底端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至操作板(1)的顶端外界与所述顶板(9)的底端中部接触,调节丝杠(10)的底端同心设置有第一手轮(14);还包括上固定板(15)、下固定板、左固定板(16)、右固定板、螺纹管(17)、螺纹杆(18)、调节板(19)和张紧轮(20),所述后侧板(3)的中部区域的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽,并且所述调节板(19)后端的左侧和右侧均设置有燕尾滑块,两组燕尾滑块分别可滑动设置在两组燕尾滑槽内部,并且所述下固定板的底端与所述后侧板(3)的顶端中部连接,所述左固定板(16)和右固定板的底端分别与所述下固定板顶端的左侧和右侧连接,并且左固定板(16)和右固定板的顶端分别与所述上固定板(15)底端的左侧和右侧连接,所述上固定板(15)和下固定板的中部内侧分别纵向设置有上固定通孔和下固定通孔,并且上固定通孔和下固定通孔内部分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承,所述螺纹管(17)的底端自上固定板(15)的顶端依次穿过上滚珠轴承和下滚珠轴承内部并伸出至下固定板的底端外界,上滚珠轴承和下滚珠轴承的内部分别与螺纹管(17)圆周外壁的上侧和下侧固定连接,所述螺纹杆(18)的顶端插入并螺装至螺纹管(17)的底端内部,并且螺纹杆(18)的底端与所述调节板(19)的顶端中部连接,螺纹管(17)的顶端同心连接设置有第二手轮,所述张紧轮(20)的后端设置有张紧轴,并且调节板(19)的前端中部设置有右固定槽,并且右固定槽内部设置有右滚珠轴承,所述张紧轴的后端插入并固定安装至右滚珠轴承内部,所述张紧轮(20)的顶端与所述传动皮带(5)的内圈上侧可滚动接触;
还包括调节轴(27)、加强圈(28)、四组加长杆(29)、调节盘(30)和四组插杆(31),所述四组支腿(2)的内侧横向固定设置有支撑板,并且所述支撑板的顶端左侧设置有辅助槽,辅助槽内部设置有辅助滚珠轴承,所述调节轴(27)的底端插入并固定安装至辅助滚珠轴承内部,所述调节盘(30)的底端与所述调节轴(27)的顶端同心连接,并且所述四组插杆(31)的底端分别与所述调节盘(30)顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接,四组插杆(31)的顶端分别纵向穿过所述第一手轮(14)底端内部并伸出至第一手轮(14)的顶端外界,所述加强圈(28)固定套装在所述调节轴(27)的外部,并且所述四组加长杆(29)的内端均布圆周连接设置在所述加强圈的圆周外侧壁上;
还包括四组防滑套(32),所述四组防滑套(32)分别固定套装在所述四组加长杆(29)的外端外部。
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置,其特征在于,还包括安装螺杆(21)和旋转盘(22),所述支撑轴的前端同心设置有安装轴,并且所述安装轴的直径小于所述支撑轴的直径,安装轴的前端设置有安装螺纹孔,并且所述金刚石切割片(6)套设在所述安装轴上,并且所述旋转盘(22)的后端与所述安装螺杆(21)的前端同心连接,旋转盘(22)后端的上侧、下侧、左侧和右侧均设置有防滑胶块,并且所述安装螺杆的后端插入并螺装至安装螺纹孔的前端内部,并且所述四组防滑胶块的后端均与所述金刚石切割片(6)的前端锁紧接触。
3.如权利要求2所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置,其特征在于,所述旋转盘(22)的前端内接于圆设置有内六角固定槽(23)。
4.如权利要求3所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置,其特征在于,还包括左锁紧板(24)、右锁紧板、左锁紧螺栓(25)(13)和右锁紧螺栓(13),所述左锁紧板(24)的右端与所述调节板(19)的左端连接,并且所述右锁紧板的左端与调节板(19)的右端连接,左锁紧板(24)和右锁紧板的后端均与所述后侧板(3)的前端可滑动接触,并且所述左锁紧板(24)的前端纵向设置有前后贯穿的左条形通槽,并且所述右锁紧板的前端纵向设置有前后贯穿的右条形通槽,所述后侧板(3)的前端的左侧和右侧分别对应设置有左锁紧螺纹通孔和右锁紧螺纹通孔,所述左锁紧螺栓(25)(13)的后端穿过左条形通槽内部插入并螺装至左锁紧螺纹通孔内部,并且右锁紧螺栓(13)的后端穿过右条形通槽内部插入并螺装至右锁紧螺纹通孔内部。
5.如权利要求4所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置,其特征在于,所述两组左上导轮(12)、两组左下导轮、两组右上导轮和两组右下导轮的外部均设置有橡胶皮套(26)。
6.如权利要求5所述的一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置,其特征在于,所述左滑板(8)左端的左限位滑块设置为两组,并且两组左限位滑块的右端分别与所述左滑板(8)左端的前侧和后侧连接,并且所述左限位板(7)右端的左限位滑槽对应设置为两组,所述两组左限位滑槽分别设置在左限位板(7)右端的前侧和后侧,两组左限位滑块分别可滑动设置在两组左限位滑槽内部,并且所述右滑板右端的右限位滑块设置为两组,并且两组右限位滑块的左端分别与所述右滑板右端的前侧和后侧连接,并且所述右限位板左端的左限位滑槽对应设置为两组,所述两组右限位滑槽分别设置在右限位板左端的前侧和后侧,两组右限位滑块分别可滑动设置在两组右限位滑槽内部。