1.一种芯片加工用刻蚀装置,包括箱体(1)、基板(2)和掩模(3),箱体(1)的内部设置有工作腔,并在工作腔内装有刻蚀液,箱体(1)的顶端设置有取放口,基板(2)的顶端设置有固定槽(4),掩模(3)上设置有模孔(5);其特征在于,还包括工作台(6)、左支板(7)、右支板(8)、顶板(9)、两组第一气缸(10)、第二气缸(11)、四组连接杆(12)、四组限位杆(13)、连接板(14)和四组压紧弹簧(15),所述箱体(1)安装在工作台(6)顶端,并在箱体(1)的取放口处设置有盖板(16),所述左支板(7)和右支板(8)的底端分别与工作台(6)顶端的左侧和右侧连接,左支板(7)和右支板(8)的顶端分别与顶板(9)底端的左侧和右侧连接,所述两组第一气缸(10)分别安装在顶板(9)顶端的左侧和右侧,并在两组第一气缸(10)的底部输出端均设置有第一伸缩杆(17),所述两组第一伸缩杆(17)的底端自顶板(9)的顶端穿过顶板(9)至顶板(9)的下方并分别与盖板(16)顶端的左侧和右侧连接,所述四组连接杆(12)的顶端分别与盖板(16)底端的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接,四组连接杆(12)的底端分别与基板(2)顶端的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接,所述第二气缸(11)安装在盖板(16)的顶端中部,并在第二气缸(11)的底部输出端设置有第二伸缩杆(18),所述第二伸缩杆(18)的底端自盖板(16)的顶端穿过盖板(16)至盖板(16)的下方并与连接板(14)的顶端中部连接,所述连接板(14)的左前端、右前端、左后端和右后端均设置有上下贯通的穿孔,所述四组限位杆(13)的顶端自连接板(14)的底端分别穿过四组穿孔至连接板(14)的上方,并在四组限位杆(13)的顶端均设置有限位板(19),四组限位杆(13)的底端分别穿过四组压紧弹簧(15)并分别与掩模(3)顶端的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接,所述掩模(3)位于固定槽(4)的正上方;还包括多组加热棒(20)、温度显示器(21)、搅拌电机(22)和减速机(23),所述多组加热棒(20)均匀安装在工作腔的左侧壁和右侧壁上,并在工作腔的侧壁上设置有温度传感器(24),所述温度显示器(21)安装在箱体(1)的左端,所述温度传感器(24)和温度显示器(21)电连接,所述搅拌电机(22)和减速机(23)均安装在工作台(6)的底端,并且减速机(23)位于搅拌电机(22)的顶部输出端,并在减速机(23)的顶部输出端设置有转轴,所述转轴的顶端自工作台(6)的底端穿过工作台(6)和箱体(1)底壁伸入至工作腔内,并在转轴上设置有搅拌叶(25),所述搅拌叶(25)位于工作腔内,待加工的芯片置于固定槽的底部,通过第二气缸驱动第二伸缩杆向下移动,第二伸缩杆带动连接板以及掩模向下移动,直至掩模进入固定槽内并且掩模的底端与待加工芯片的顶端贴紧。
2.如权利要求1所述的一种芯片加工用刻蚀装置,其特征在于,所述固定槽(4)的内底壁上设置有定位槽(26),所述定位槽(26)的大小与待加工芯片的大小相匹配。
3.如权利要求2所述的一种芯片加工用刻蚀装置,其特征在于,所述掩模(3)的大小与固定槽(4)的大小相匹配,并在掩模(3)的四周均设置有密封卡槽(27),所述固定槽(4)的四组侧壁上均设置有橡胶密封条(28),所述四组橡胶密封条(28)分别与四组密封卡槽(27)相匹配。
4.如权利要求3所述的一种芯片加工用刻蚀装置,其特征在于,所述定位槽(26)的左端设置有半圆缺口(29),所述半圆缺口(29)深度大于定位槽(26)的深度。
5.如权利要求4所述的一种芯片加工用刻蚀装置,其特征在于,还包括废液箱(30)和废液管(31),所述废液箱(30)位于工作台(6)的下方,所述废液管(31)的顶端自箱体(1)的底端伸入至工作腔内,废液管(31)的底端与废液箱(30)的顶端连通,并在废液管(31)上设置有开关阀。
6.如权利要求5所述的一种芯片加工用刻蚀装置,其特征在于,所述转轴和搅拌叶(25)上均涂覆有防腐层。
7.如权利要求6所述的一种芯片加工用刻蚀装置,其特征在于,所述转轴与箱体(1)的衔接处设置有机械密封(32)。
8.如权利要求7所述的一种芯片加工用刻蚀装置,其特征在于,所述箱体(1)的前侧壁上设置有观察孔,所述观察孔与工作腔相通,并在观察孔内设置有钢化玻璃板(33)。