1.一种微型甲烷传感器的甲烷检测方法，使用的微型甲烷传感器包括支座（100）、加热元件（101）以及一个或多个相互独立的测量元件（102）；

所述支座（100）包括衬底（11）与设在衬底（11）上的隔离氧化硅层（12），隔离氧化硅层（12）上方设有单晶硅层（13）；

所述加热元件（101）和每个测量元件（102）均包括并排设置在支座（100）上的U形悬臂和两个固定端（1001）；所述加热元件（101）的固定端（1001）与测量元件（102）的固定端（1001）相互独立的设在支座（100）上，互不接触；所述加热元件（101）及测量元件（102）均通过各自的两个固定端（1001）设在支座（100）上，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）的两端分别与两个固定端（1001）形成二端子器件，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）悬置在空气中；所述固定端（1001）的单晶硅层（13）由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成，并与固定端之外支座（100）上其余部分的单晶硅层（13）不相连接，固定端（1001）的单晶硅层（13）中间设有掺杂硅层（24），固定端（1001）的单晶硅层（13）上可设有氧化硅层（23），电引出焊盘金属（22）通过氧化硅层（23）的窗口与固定端（1001）的掺杂硅层（24）相接触构成欧姆接触；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）为单晶硅层（13）构成，由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成并与加热元件（101）的两个固定端（1001）的单晶硅层（13）连接，所述焊盘金属（22）从固定端（1001）引出直至U形悬臂Ⅰ（1012）上；

所述加热元件（101）与测量元件（102）的硅结构以及各个测量元件（102）的硅结构之间均相互隔离，加热元件（101）、测量元件（102）的硅结构也都与隔离氧化硅层（12）上的其它的顶层单晶硅层（13）隔离不相连接；所述衬底（11）为硅或其它可采用MEMS工艺加工的材料；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两条支撑臂上都设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，两条支撑臂上的金属层延伸长度相同、且均不超过支撑臂长度的一半，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两支撑臂的宽度相同，其上由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层宽度相同且都窄于支撑臂的宽度；所述U形悬臂Ⅱ（1022）的两个并排支撑臂宽度相同；在所述U形悬臂Ⅱ（1022）的一条支撑臂上设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，长度不超过所在支撑臂的长度，宽度窄于所在支撑臂的宽度；

所述固定端（1001）由顶层单晶硅层（13）加工形成；顶层单晶硅层（13）上根据需要设有氧化硅层（23），设有氧化硅层（23）时，在氧化硅层（23）上设有电引出焊盘金属（22），电引出焊盘金属（22），通过所述氧化硅层（23）的窗口与其下单晶硅层（13）接触，不设氧化硅层（23）时，在固定端（1001）上的单晶硅层（13）上直接设置电引出焊盘金属（22）；电引出焊盘金属（22）的外形面积小于固定端（1001）外形面积；

所述测量元件（102）垂直设置在加热元件（101）两侧，测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）放置于加热元件（101）两支撑臂的上下两侧，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端外侧与对应的加热元件（101）支撑臂外侧之间的距离为2um至10um，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端的中点与加热元件（101）的支撑臂上的金属层尽头相对齐；

其特征在于步骤为：

对加热元件（101）通以直流电流或施加直流电压，所施加的电流或电压较大且使加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）末端加热到550℃以上的高温，测量元件（102）则不通电流亦不施加电压而直接测量其两端电压；

以测量元件（102）在无甲烷气体的正常环境中的两个固定端（1001）两端电压作为参考电压；当甲烷气体浓度改变时，测量元件（102）的两个固定端（1001）端电压发生改变；根据测量元件（102）的两个固定端（1001）的端电压实现甲烷浓度的检测。

2.一种微型甲烷传感器的甲烷检测方法，使用的微型甲烷传感器包括支座（100）、加热元件（101）以及一个或多个相互独立的测量元件（102）；

所述支座（100）包括衬底（11）与设在衬底（11）上的隔离氧化硅层（12），隔离氧化硅层（12）上方设有单晶硅层（13）；

所述加热元件（101）和每个测量元件（102）均包括并排设置在支座（100）上的U形悬臂和两个固定端（1001）；所述加热元件（101）的固定端（1001）与测量元件（102）的固定端（1001）相互独立的设在支座（100）上，互不接触；所述加热元件（101）及测量元件（102）均通过各自的两个固定端（1001）设在支座（100）上，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）的两端分别与两个固定端（1001）形成二端子器件，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）悬置在空气中；所述固定端（1001）的单晶硅层（13）由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成，并与固定端之外支座（100）上其余部分的单晶硅层（13）不相连接，固定端（1001）的单晶硅层（13）中间设有掺杂硅层（24），固定端（1001）的单晶硅层（13）上可设有氧化硅层（23），电引出焊盘金属（22）通过氧化硅层（23）的窗口与固定端（1001）的掺杂硅层（24）相接触构成欧姆接触；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）为单晶硅层（13）构成，由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成并与加热元件（101）的两个固定端（1001）的单晶硅层（13）连接，所述焊盘金属（22）从固定端（1001）引出直至U形悬臂Ⅰ（1012）上；

所述加热元件（101）与测量元件（102）的硅结构以及各个测量元件（102）的硅结构之间均相互隔离，加热元件（101）、测量元件（102）的硅结构也都与隔离氧化硅层（12）上的其它的顶层单晶硅层（13）隔离不相连接；所述衬底（11）为硅或其它可采用MEMS工艺加工的材料；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两条支撑臂上都设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，两条支撑臂上的金属层延伸长度相同、且均不超过支撑臂长度的一半，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两支撑臂的宽度相同，其上由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层宽度相同且都窄于支撑臂的宽度；所述U形悬臂Ⅱ（1022）的两个并排支撑臂宽度相同；在所述U形悬臂Ⅱ（1022）的一条支撑臂上设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，长度不超过所在支撑臂的长度，宽度窄于所在支撑臂的宽度；

所述固定端（1001）由顶层单晶硅层（13）加工形成；顶层单晶硅层（13）上根据需要设有氧化硅层（23），设有氧化硅层（23）时，在氧化硅层（23）上设有电引出焊盘金属（22），电引出焊盘金属（22），通过所述氧化硅层（23）的窗口与其下单晶硅层（13）接触，不设氧化硅层（23）时，在固定端（1001）上的单晶硅层（13）上直接设置电引出焊盘金属（22）；电引出焊盘金属（22）的外形面积小于固定端（1001）外形面积；

所述测量元件（102）垂直设置在加热元件（101）两侧，测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）放置于加热元件（101）两支撑臂的上下两侧，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端外侧与对应的加热元件（101）支撑臂外侧之间的距离为2um至10um，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端的中点与加热元件（101）的支撑臂上的金属层尽头相对齐；

其特征在于：

加热元件（101）施加交流电流或电压，使加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）末端加热到

550℃以上的高温，对测量元件（102）则不通电流也不施加电压而直接测量其两端电压信号；甲烷气体浓度改变时，所述测量元件（102）的两个固定端（1001）两端电压信号的频率、相位、幅度随之发生变化，通过检测测量元件（102）两个固定端（1001）的端电压信号的频率、相位、幅度的变化实现甲烷浓度的传感；即以没有甲烷时所述测量元件（102）的两个固定端（1001）的两端电压信号作为参考信号，根据测量元件（102）的两个固定端（1001）电压信号与所述参考信号的比较得到甲烷的浓度，即以测量元件（102）的两个固定端（1001）电压信号的频率差值、相位差值、幅度差值得到甲烷浓度。

3.一种微型甲烷传感器的甲烷检测方法，使用的微型甲烷传感器包括支座（100）、加热元件（101）以及一个或多个相互独立的测量元件（102）；

所述支座（100）包括衬底（11）与设在衬底（11）上的隔离氧化硅层（12），隔离氧化硅层（12）上方设有单晶硅层（13）；

所述加热元件（101）和每个测量元件（102）均包括并排设置在支座（100）上的U形悬臂和两个固定端（1001）；所述加热元件（101）的固定端（1001）与测量元件（102）的固定端（1001）相互独立的设在支座（100）上，互不接触；所述加热元件（101）及测量元件（102）均通过各自的两个固定端（1001）设在支座（100）上，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）的两端分别与两个固定端（1001）形成二端子器件，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）悬置在空气中；所述固定端（1001）的单晶硅层（13）由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成，并与固定端之外支座（100）上其余部分的单晶硅层（13）不相连接，固定端（1001）的单晶硅层（13）中间设有掺杂硅层（24），固定端（1001）的单晶硅层（13）上可设有氧化硅层（23），电引出焊盘金属（22）通过氧化硅层（23）的窗口与固定端（1001）的掺杂硅层（24）相接触构成欧姆接触；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）为单晶硅层（13）构成，由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成并与加热元件（101）的两个固定端（1001）的单晶硅层（13）连接，所述焊盘金属（22）从固定端（1001）引出直至U形悬臂Ⅰ（1012）上；

所述加热元件（101）与测量元件（102）的硅结构以及各个测量元件（102）的硅结构之间均相互隔离，加热元件（101）、测量元件（102）的硅结构也都与隔离氧化硅层（12）上的其它的顶层单晶硅层（13）隔离不相连接；所述衬底（11）为硅或其它可采用MEMS工艺加工的材料；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两条支撑臂上都设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，两条支撑臂上的金属层延伸长度相同、且均不超过支撑臂长度的一半，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两支撑臂的宽度相同，其上由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层宽度相同且都窄于支撑臂的宽度；所述U形悬臂Ⅱ（1022）的两个并排支撑臂宽度相同；在所述U形悬臂Ⅱ（1022）的一条支撑臂上设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，长度不超过所在支撑臂的长度，宽度窄于所在支撑臂的宽度；

所述固定端（1001）由顶层单晶硅层（13）加工形成；顶层单晶硅层（13）上根据需要设有氧化硅层（23），设有氧化硅层（23）时，在氧化硅层（23）上设有电引出焊盘金属（22），电引出焊盘金属（22），通过所述氧化硅层（23）的窗口与其下单晶硅层（13）接触，不设氧化硅层（23）时，在固定端（1001）上的单晶硅层（13）上直接设置电引出焊盘金属（22）；电引出焊盘金属（22）的外形面积小于固定端（1001）外形面积；

所述测量元件（102）垂直设置在加热元件（101）两侧，测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）放置于加热元件（101）两支撑臂的上下两侧，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端外侧与对应的加热元件（101）支撑臂外侧之间的距离为2um至10um，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端的中点与加热元件（101）的支撑臂上的金属层尽头相对齐；

其特征在于：

在加热元件（101）上下两侧分别布置A、B两个测量元件（102），在加热元件（101）上施加直流电流，A、B两个测量元件（102）产生不同的电压，不同的电压差代表不同的浓度，以无甲烷时的A、B两个测量元件（102）的电压差值为参考，根据A、B两个测量元件（102）的电压差值得到甲烷浓度、实现甲烷的传感。

4.一种微型甲烷传感器的甲烷检测方法，使用的微型甲烷传感器包括支座（100）、加热元件（101）以及一个或多个相互独立的测量元件（102）；

所述支座（100）包括衬底（11）与设在衬底（11）上的隔离氧化硅层（12），隔离氧化硅层（12）上方设有单晶硅层（13）；

所述加热元件（101）和每个测量元件（102）均包括并排设置在支座（100）上的U形悬臂和两个固定端（1001）；所述加热元件（101）的固定端（1001）与测量元件（102）的固定端（1001）相互独立的设在支座（100）上，互不接触；所述加热元件（101）及测量元件（102）均通过各自的两个固定端（1001）设在支座（100）上，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）的两端分别与两个固定端（1001）形成二端子器件，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）悬置在空气中；所述固定端（1001）的单晶硅层（13）由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成，并与固定端之外支座（100）上其余部分的单晶硅层（13）不相连接，固定端（1001）的单晶硅层（13）中间设有掺杂硅层（24），固定端（1001）的单晶硅层（13）上可设有氧化硅层（23），电引出焊盘金属（22）通过氧化硅层（23）的窗口与固定端（1001）的掺杂硅层（24）相接触构成欧姆接触；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）为单晶硅层（13）构成，由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成并与加热元件（101）的两个固定端（1001）的单晶硅层（13）连接，所述焊盘金属（22）从固定端（1001）引出直至U形悬臂Ⅰ（1012）上；

所述加热元件（101）与测量元件（102）的硅结构以及各个测量元件（102）的硅结构之间均相互隔离，加热元件（101）、测量元件（102）的硅结构也都与隔离氧化硅层（12）上的其它的顶层单晶硅层（13）隔离不相连接；所述衬底（11）为硅或其它可采用MEMS工艺加工的材料；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两条支撑臂上都设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，两条支撑臂上的金属层延伸长度相同、且均不超过支撑臂长度的一半，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两支撑臂的宽度相同，其上由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层宽度相同且都窄于支撑臂的宽度；所述U形悬臂Ⅱ（1022）的两个并排支撑臂宽度相同；在所述U形悬臂Ⅱ（1022）的一条支撑臂上设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，长度不超过所在支撑臂的长度，宽度窄于所在支撑臂的宽度；

所述固定端（1001）由顶层单晶硅层（13）加工形成；顶层单晶硅层（13）上根据需要设有氧化硅层（23），设有氧化硅层（23）时，在氧化硅层（23）上设有电引出焊盘金属（22），电引出焊盘金属（22），通过所述氧化硅层（23）的窗口与其下单晶硅层（13）接触，不设氧化硅层（23）时，在固定端（1001）上的单晶硅层（13）上直接设置电引出焊盘金属（22）；电引出焊盘金属（22）的外形面积小于固定端（1001）外形面积；

所述测量元件（102）垂直设置在加热元件（101）两侧，测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）放置于加热元件（101）两支撑臂的上下两侧，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端外侧与对应的加热元件（101）支撑臂外侧之间的距离为2um至10um，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端的中点与加热元件（101）的支撑臂上的金属层尽头相对齐；

其特征在于：

在加热元件（101）上下两侧分别布置A、B两个测量元件（102），在加热元件（101）上施加交流电流，A、B两个测量元件（102）的电压频率、相位、幅值之间都分别存在差值，以没有甲烷时的差值作为基准，分别利用所述A、B两个测量元件（102）的电压的频率、相位、幅值各自的差值代表不同的甲烷浓度，从而实现甲烷传感。

5.一种微型甲烷传感器的甲烷检测方法，使用的微型甲烷传感器包括支座（100）、加热元件（101）以及一个或多个相互独立的测量元件（102）；

所述支座（100）包括衬底（11）与设在衬底（11）上的隔离氧化硅层（12），隔离氧化硅层（12）上方设有单晶硅层（13）；

所述加热元件（101）和每个测量元件（102）均包括并排设置在支座（100）上的U形悬臂和两个固定端（1001）；所述加热元件（101）的固定端（1001）与测量元件（102）的固定端（1001）相互独立的设在支座（100）上，互不接触；所述加热元件（101）及测量元件（102）均通过各自的两个固定端（1001）设在支座（100）上，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）的两端分别与两个固定端（1001）形成二端子器件，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）和测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）悬置在空气中；所述固定端（1001）的单晶硅层（13）由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成，并与固定端之外支座（100）上其余部分的单晶硅层（13）不相连接，固定端（1001）的单晶硅层（13）中间设有掺杂硅层（24），固定端（1001）的单晶硅层（13）上可设有氧化硅层（23），电引出焊盘金属（22）通过氧化硅层（23）的窗口与固定端（1001）的掺杂硅层（24）相接触构成欧姆接触；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）为单晶硅层（13）构成，由支座（100）上的单晶硅层（13）加工而成并与加热元件（101）的两个固定端（1001）的单晶硅层（13）连接，所述焊盘金属（22）从固定端（1001）引出直至U形悬臂Ⅰ（1012）上；

所述加热元件（101）与测量元件（102）的硅结构以及各个测量元件（102）的硅结构之间均相互隔离，加热元件（101）、测量元件（102）的硅结构也都与隔离氧化硅层（12）上的其它的顶层单晶硅层（13）隔离不相连接；所述衬底（11）为硅或其它可采用MEMS工艺加工的材料；

所述加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两条支撑臂上都设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，两条支撑臂上的金属层延伸长度相同、且均不超过支撑臂长度的一半，加热元件（101）的U形悬臂Ⅰ（1012）的两支撑臂的宽度相同，其上由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层宽度相同且都窄于支撑臂的宽度；所述U形悬臂Ⅱ（1022）的两个并排支撑臂宽度相同；在所述U形悬臂Ⅱ（1022）的一条支撑臂上设有由电引出焊盘金属（22）延伸出的金属层，长度不超过所在支撑臂的长度，宽度窄于所在支撑臂的宽度；

所述固定端（1001）由顶层单晶硅层（13）加工形成；顶层单晶硅层（13）上根据需要设有氧化硅层（23），设有氧化硅层（23）时，在氧化硅层（23）上设有电引出焊盘金属（22），电引出焊盘金属（22），通过所述氧化硅层（23）的窗口与其下单晶硅层（13）接触，不设氧化硅层（23）时，在固定端（1001）上的单晶硅层（13）上直接设置电引出焊盘金属（22）；电引出焊盘金属（22）的外形面积小于固定端（1001）外形面积；

所述测量元件（102）垂直设置在加热元件（101）两侧，测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）放置于加热元件（101）两支撑臂的上下两侧，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端外侧与对应的加热元件（101）支撑臂外侧之间的距离为2um至10um，所述测量元件（102）的U形悬臂Ⅱ（1022）末端的中点与加热元件（101）的支撑臂上的金属层尽头相对齐；

其特征在于：

在加热元件（101）附近设置单个的测量元件（102），当在加热元件（101）快速短时施加大小相同、方向相反、作用时间与间隔时间均相同的电流时，所述单个测量元件（102）两端对应的电压不同，不同的电压差代表不同的浓度，利用电压差作为敏感信号实现甲烷传感；

即以没有甲烷时所述测量元件（102）的电压差作为基准，根据测量元件（102）的电压差得到甲烷浓度。