欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2018110953882
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种多光共轴激光损伤阈值测试装置进行损伤阈值测量的方法,所述的多光共轴激光损伤阈值测试装置,包括依次设置于主光轴上的开关挡板(3)、衰减器(6)、第一分束器(7)、位移聚焦透镜(8)、第二分束器(9)、和样品台(12),还包括CCD相机(10)、光纤光谱仪(11)、光束分析仪(13)、能量计(14)和计算机(15),所述的第一分束器(7)上连接有能量计(14),第二分束器(9)上连接有光束分析仪(13),CCD相机(10)、光纤光谱仪(11)、光束分析仪(13)、能量计(14)分别与计算机(15)连接,所述的开关挡板(3)的前端光轴上并列设置有若干条光路,每条光路上依次设置有激光器(1)和立方棱镜(2),每块立方棱镜均由一对直角棱镜胶合而成,每块直角棱镜的直角面上均镀有宽带增透膜,胶合的两块直角棱镜中,其中一块直角棱镜斜面上镀有多层介质膜,可将本光路和上一光路的光束耦合进入主光轴,所述的开关挡板(3)与衰减器(6)之间设置有扩束系统;

所述的扩束系统由一对可变间距的正透镜(4)和负透镜(5)组成的伽利略望远系统构成,所述的负透镜(5)设置于步进电机驱动的支架上,可沿光轴方向移动,以对不同光束的焦距差异进行补偿;

所述的位移聚焦透镜(8)设置于步进电机驱动的支架上,可沿光轴方向移动,补偿不同波长造成的焦距长短差异;

所述的样品台(12)通过两只步进电机驱动,在垂直于主光轴的平面内二维移动;

其特征在于:所述的方法步骤为:

1)测试系统标定:根据扩束系统和位移聚焦透镜(8)精确测量的不同波长的焦距数值,确定每种光束传输时在光学系统中的位置,并由计算机存储;

2)将被测样品安装在样品台(12)上,测试面对着光源方向,并且测试面紧靠夹具定位面;

3)计算机(15)将指令发送给每台激光器开始预燃,用户选取激光损伤阈值的检测波长,计算机进行测试系统复位,沿着光轴方向移动负透镜(5)到预设位置,对选定激光波长下的正、负透镜间距进行调整;

4)计算机(15)同时控制位移聚焦透镜(8),通过步进电机驱动位移聚焦透镜(8)沿着光轴方向移动,将聚焦透镜放置在预设的位置;

5)采用激光器的泵浦灯来控制激光脉冲输出,激光辐照前,CCD相机(10)先采集样品表面的图像信息,然后用脉冲激光对样品进行辐照,同时采集等离子光谱信息,辐照完成后,再次采集样品表面的图像信息,计算机实时对采集的数据进行分析,以判断样品表面是否发生损伤;

6)通过样品台(12)将样品移动一个步距,重复步骤5),并依据ISO21254进行测量,根据事先标定的衰减片组合,调节衰减器以保证输出的激光能量符合要求,当激光脉冲发出后,能量计(14)及光束分析仪(13)实时记录当前脉冲的能量和光斑大小,并反馈给计算机(15),如果薄膜表面发生了损伤,CCD相机采集的图像在薄膜损伤前后将发生变化;光纤光谱仪采集的等离子体光谱将出现特征峰,相应的电信号传输给计算机(15),计算机进行处理后,触发下一个激光脉冲,重复以上过程进行下一个点的测量,直到完成10个能级100个点的测量,即可拟合出样品的激光损伤阈值;

7)用户选择其他测试波长,重复步骤2)‑6),即可完成其他波长激光损伤阈值的测量。