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专利号: 201811131709X
申请人: 河南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:以硝酸盐为溶质配制第一前驱体溶液,加入辅助络合剂,磁力搅拌,制成第二前驱体溶液,将第二前驱体溶液旋凃在玻璃衬底上,经过退火处理,即得绒面透明导电氧化物薄膜;所述退火处理是在氧气氛围中进行,退火处理温度为400~600℃,退火处理时间为3~6h,退火处理后得到的绒面透明导电氧化物薄膜厚度为400~600nm,所述辅助络合剂为乙酰丙酮、甘氨酸、尿素或葡萄糖的一种以上。

2.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,所述硝酸盐为硝酸锌、硝酸铝或硝酸铟的一种以上。

3.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,所述第一前驱体溶液所使用的溶剂为2-甲氧基乙醇。

4.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,所述第一前驱体溶液的金属离子浓度为0.2 mol/L~0.6 mol/L。

5.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,所述辅助络合剂与第一前驱体溶液的金属离子的摩尔比为(2~5):1。

6.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,所述磁力搅拌的时间为2~5小时。

7.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,所述第二前驱体溶液旋凃在玻璃衬底上的具体步骤为:使用旋凃仪将第二前驱体溶液旋凃在玻璃衬底上,旋转速度为2000~5000rpm,旋凃时间为30~60s,然后在100~150℃条件下干燥处理10~30min;重复旋凃和干燥步骤4~6次。