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专利号: 2018111667534
申请人: 广西中科蓝谷半导体科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,包括工作台(1)和胶头滴管(2),胶头滴管(2)位于工作台(1)上方;其特征在于,还包括第一支撑杆(3)、第二支撑杆(4)、前限位板(5)、后限位板、左挡板(6)、右挡板(7)、推动杆(8)、齿条(9)、后不完整齿轮、前不完整齿轮(10)、后连接杆、弹簧(11)、前连接杆(12)、前固定杆(13)和后固定杆,所述第一支撑杆(3)底端与工作台(1)顶端连接,所述第二支撑杆(4)左端与第一支撑杆(3)右侧壁中央区域连接,所述前限位板(5)和后限位板底侧壁分别与第二支撑杆(4)顶侧壁前半区域和后半区域连接,所述右挡板(7)底侧壁与第二支撑杆(4)顶侧壁连接,所述左挡板(6)底侧壁与第二支撑杆(4)顶侧壁接触,左挡板(6)和右挡板(7)中央区域分别横向设置有第一固定孔和第二固定孔,所述弹簧(11)左端和右端分别与左挡板(6)右侧壁和右挡板(7)左侧壁连接,所述推动杆(8)右端穿过第一固定孔、第二固定孔和弹簧(11)与所述齿条(9)左端连接,并且推动杆(8)与左挡板(6)固定连接,齿条(9)前侧壁和后侧壁分别设置有上齿状结构和下齿状结构,所述前不完整齿轮(10)圆周外侧壁后半区域和后不完整齿轮圆周外侧壁前半区域分别设置有与上齿状结构和下齿状结构相对应的前齿状结构和后齿状结构,前不完整齿轮(10)和后不完整齿轮分别与齿条(9)前侧壁和后侧壁咬合,前不完整齿轮(10)和后不完整齿轮中央区域分别纵向设置有第三固定孔和第四固定孔,第二支撑杆(4)顶侧壁右半区域的前半区域和后半区域分别设置有前放置槽和后放置槽,前放置槽处和后放置槽处分别设置有前滚珠轴承(15)和后滚珠轴承,所述前固定杆(13)和后固定杆分别穿过第三固定孔和第四固定孔并且与前不完整齿轮(10)和后不完整齿轮固定连接,前固定杆(13)和后固定杆底端分别插入前滚珠轴承(15)和后滚珠轴承内部并且分别与前滚珠轴承(15)和后滚珠轴承键连接,所述前连接杆(12)和后连接杆左端分别与前不完整齿轮(10)前端和后不完整齿轮后端连接,前连接杆(12)和后连接杆上分别设置有前夹持机构和后夹持机构;还包括第三支撑杆(16)、第四支撑杆(17)、第一转动杆(18)、第二转动杆(19)、第一螺纹杆(20)、上齿轮(21)、下齿轮(22)、第一连接杆(23)、第二连接杆(24)、第三连接杆(25)、第四连接杆(26)、套环(27)、左夹板(28)和右夹板(29),所述第一支撑杆(3)右侧壁分别设置有第一放置槽和第二放置槽,第一放置槽和第二放置槽处分别设置有第一滚珠轴承(30)和第二滚珠轴承,所述第三支撑杆(16)和第四支撑杆(17)左端分别插入第一滚珠轴承(30)和第二滚珠轴承内并且与第一滚珠轴承(30)和第二滚珠轴承键连接,所述上齿轮(21)圆周外壁设置有第一齿状结构,所述下齿轮(22)圆周外壁设置有与第一齿状结构相对应的第二齿状结构,上齿轮(21)和下齿轮(22)中央区域分别横向设置有第一连接孔和第二连接孔,第三支撑杆(16)和第四支撑杆(17)右端分别穿过上齿轮(21)和下齿轮(22)并且分别与上齿轮(21)和下齿轮(22)固定连接,上齿轮(21)和下齿轮(22)咬合,所述第一连接杆(23)前端和后端分别与第三连接杆(25)前侧壁左端和第四连接杆(26)后侧壁左端连接,第一连接杆(23)中央区域设置有贯穿孔,第四支撑杆(17)右端穿过贯穿孔与所述第一螺纹杆(20)左端连接,第三支撑杆(16)穿过所述套环(27),第二连接杆(24)底端和顶端分别第一连接杆(23)顶侧壁中央区域和套环(27)底端连接,所述右夹板(29)顶侧壁前端和后端分别与第四连接杆(26)顶侧壁右端和第三连接杆(25)顶侧壁右端连接,所述左夹板(28)前半区域、中央区域和后半区域分别横向设置有第三连接孔、第四连接孔和第五连接孔,第三连接杆(25)和第四连接杆(26)分别穿过第五连接孔和第三连接孔,第四连接孔内侧壁上设置有与所述第一螺纹杆(20)外螺纹相对应的内螺纹,第一螺纹杆(20)左端螺装穿过第四连接孔,右夹板(29)左侧壁底端与所述胶头滴管(2)右侧壁顶端接触,所述第一转动杆(18)底端与第三支撑杆(16)顶端连接,所述第二转动杆(19)左端与第一转动杆(18)右侧壁顶端连接;胶头滴管中央区域放置于前夹持机构和后夹持机构之间,上齿轮外径小于下齿轮外径。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,所述前夹持机构包括前螺纹杆(31)、前夹持块(32)、前插入杆(33)、前锁紧螺母(34)和前把手(35),所述前连接杆(12)右半区域设置有前螺纹孔,前螺纹孔内侧壁上设置有与所述前螺纹杆(31)外螺纹相对应的内螺纹,前螺纹杆(31)后端螺装穿过前连接杆(12),前螺纹杆(31)前端和后端分别与所述前把手(35)后侧壁左端和所述前插入杆(33)前端连接,所述前夹持块(32)前侧壁设置有前卡装槽,前卡装槽处设置有第三滚珠轴承(36),前插入杆(33)后端插入第三滚珠轴承(36)内并且与第三滚珠轴承(36)键连接,前夹持块(32)后侧壁设置有前夹持槽,前夹持槽与前夹持块(32)顶侧壁和底侧壁连通,所述前锁紧螺母(34)螺装至前螺纹杆(31)上,所述后夹持机构包括后螺纹杆、后夹持块、后插入杆、后锁紧螺母和后把手,所述后连接杆右半区域设置有后螺纹孔,后螺纹孔内侧壁上设置有与所述后螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹,后螺纹杆前端螺装穿过后连接杆,后螺纹杆后端和前端分别与所述后把手前侧壁左端和所述后插入杆前端连接,所述后夹持块后侧壁设置有后卡装槽,后卡装槽处设置有第四滚珠轴承,后插入杆前端插入第四滚珠轴承内并且与第四滚珠轴承键连接,后夹持块前侧壁设置有后夹持槽,后夹持槽与后夹持块顶侧壁和底侧壁连通,所述后锁紧螺母螺装至后螺纹杆上。

3.如权利要求2所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,还包括第一过渡杆(37)和第二过渡杆(38),所述第二过渡杆(38)前端和后端分别与第四连接杆(26)后侧壁右端和第三连接杆(25)前侧壁右端连接,第二过渡杆(38)左侧壁中央区域设置有第三放置槽,第三放置槽处设置有第五滚珠轴承(39),所述第一过渡杆(37)左端第一螺纹杆(20)右端连接,第一过渡杆(37)右端插入第五滚珠轴承(39)内部并且与第五滚珠轴承(39)键连接。

4.如权利要求3所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,还包括U形杆(40),所述U形杆(40)底侧壁左端和右端均与推动杆(8)顶侧壁连接。

5.如权利要求4所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,还包括第五支撑杆(41),所述第五支撑杆(41)底端与工作台(1)顶侧壁连接,第五支撑杆(41)横向设置有第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔,所述第三支撑杆(16)、第四支撑杆(17)和第二支撑杆(4)左端分别穿过第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔。

6.如权利要求5所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,还包括左卡环(42)、右卡环和旋转环(43),所述第二转动杆(19)穿过左卡环(42)、旋转环(43)和右卡环并且与左卡环(42)和右卡环固定连接。

7.如权利要求6所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,还包括多组上滚珠(44)和多组下滚珠,所述第三连接杆(25)前端和后端分别设置有两组第一盛放槽,所述第四连接杆(26)前端和后端分别设置有两组第二盛放槽,所述第五连接孔前端和后端分别设置有两组第三盛放槽,所述第三连接孔前端和后端分别设置有两组第四盛放槽,所述多组上滚珠(44)分别位于两组第一盛放槽和两组第三盛放槽内,所述多组下滚珠分别位于两组第二盛放槽和两组第四盛放槽内。

8.如权利要求7所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,还包括两组防护盖(45),所述两组防护盖(45)分别安装在第一滚珠轴承(30)和第二滚珠轴承处。

9.如权利要求8所述的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置,其特征在于,还包括前防脱板(46)和后防脱板,所述前固定杆(13)和后固定杆顶端分别与前防脱板(46)和后防脱板底侧壁中央区域连接。