1.一种高精度气体微流量计的气体流量测量方法，应用于高精度气体微流量计，其特征在于，高精度气体微流量计包括流量计外壳，在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管，所述进气管的中部设置有电磁阀导气孔，进气管的后部设置有电容导气孔；

所述气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连，出气管的下部与电磁阀导气孔相连，出气管内设置有电磁阀，电磁阀能控制出气管的通闭；

待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器，造成气体测量电容器电容值变化；

所述气体测量电容器包括两个平行的金属板，两个平行的金属板之间有间隙，间隙内有电介质；所述电容导气孔连接在处于下位的金属板的中间;测量方法包括以下步骤：

步骤1：关闭出气管内的电磁阀，待测气体自进气管进入；

步骤2：待测气体自进气管上的电容导气孔进入气体测量电容器，随着待测气体的流入，在气体压强的作用下，气体测量电容器的两个平行的金属板之间的距离减小，造成气体测量电容器电容值的变化，通过测量电容值的变化从而计算出流入气体的体积，进而计算出单位时间的气体流量；

步骤3：测量完毕后，打开电磁阀，气体通过电磁阀导气孔，进入出气管并顺利的排出；

步骤4：反复执行步骤1至3，进行气体流量测量，求取平均值，从而计算出待测气体的单位时间流量。