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专利号: 2018112302890
申请人: 西安理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-08-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结忆阻器的制备方法,其特征在于:具体包括如下步骤:步骤1,制备氧化镍凝胶薄膜;

所述步骤1的具体过程如下:

步骤1.1,配置氧化镍溶胶;

步骤1.2,采用浸渍‑提拉法将步骤1.1所得的氧化镍溶胶在ITO底电极上进行陈化,得氧化镍凝胶薄膜;

步骤1.3,将步骤1.2所得的氧化镍凝胶薄膜在室温下进行干燥,即得;

步骤2,在步骤1制备的氧化镍凝胶薄膜上制备氧化钛凝胶膜,得氧化钛/氧化镍基片;

所述步骤2中氧化钛/氧化镍基片的制备过程为:步骤2.1,配置氧化钛溶胶;

步骤2.2,采用浸渍‑提拉法将步骤2.1所得的氧化钛溶胶在步骤1所得的氧化镍凝胶薄膜上陈化氧化钛凝胶膜,然后在干燥箱内进行干燥,得氧化钛/氧化镍基片;

步骤3,在步骤2所得氧化钛/氧化镍基片上陈化氧化镍凝胶薄膜,得氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结薄膜;

所述步骤3的具体过程如下:

采用浸渍‑提拉法在步骤2所得的氧化钛/氧化镍基片上陈化氧化镍凝胶薄膜,然后在热处理炉中进行650 750℃热处理,热处理时间为20 25分钟,然后取出自然冷却,即得氧化~ ~镍/氧化钛/氧化镍多层异质结薄膜;

步骤4,使用溅射仪对步骤3所得的氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结薄膜进行顶电极制备,即得。

2.根据权利要求1所述的氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结忆阻器的制备方法,其特征在于:所述步骤1.1中,氧化镍溶胶的配置过程为:将醋酸镍、乙酰丙酮、丙烯酸及乙二醇甲醚按1:1:1:24的摩尔比混合。

3.根据权利要求1所述的氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结忆阻器的制备方法,其特征在于:所述步骤2.1配置氧化钛溶胶的具体过程如下:采用钛酸丁酯作为前驱体,乙醇为溶剂,钛酸丁酯:乙醇:水的物质的量之比为1:20:1;

使用硝酸调节Ph值为4 5,在室温下均匀搅拌6 8h,并陈化20 24h,得氧化钛溶胶。

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4.根据权利要求1所述的氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结忆阻器的制备方法,其特征在于:所述步骤4的具体过程如下:打开溅射仪,将氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结薄‑3膜样品放入,固定好掩膜板,然后打开溅射仪电源,进行抽气,当真空度达到1*10 Pa后可对其进行顶电极的溅射。

5.根据权利要求4所述的氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结忆阻器的制备方法,其特征在于:溅射靶材为Pt,纯度为99.9%,溅射时间为5 6min,溅射好的Pt层为氧化钛/氧化镍~复合薄膜电阻存储器薄膜的顶电极。