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专利号: 201811252788X
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-12-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种能够发射涡旋空心光的垂直腔面发射半导体激光器,自上而下依次是上电极(1)、欧姆接触层(2)、上分布布拉格反射镜(3)、氧化物限制层(4)、有源增益区(5)、下分布布拉格反射镜(6)、衬底(7)、下电极(8);欧姆接触层(2)、上分布布拉格反射镜(3)以及有源增益区(5)层叠在一起构成一个空心圆柱,该空心圆柱的内径为85~95μm、外径为115~125μm;氧化物限制层(4)的形状为环形,所述环形的宽度为3~5μm,所述环形的外径与所述空心圆柱的外径相同;在所述空心圆柱中有高阻区(9),高阻区(9)的底面与下分布布拉格反射镜(6)接触,高阻区(9)的顶面的高度高于上分布布拉格反射镜(3)的内镜面、低于上分布布拉格反射镜(3)的外镜面;其特征在于,上电极(1)位于欧姆接触层(2)上表面边缘的局部区域,下电极(8)位于衬底(7)下表面边缘的局部区域,上电极(1)的几何中心、下电极(8)的几何中心的连线与激光器轴线相交,上电极(1)的圆心角(θ′)、下电极的圆心角(θ″)均在

30°~90°范围内。

2.根据权利要求1所述的能够发射涡旋空心光的垂直腔面发射半导体激光器,其特征在于,上电极(1)、下电极(8)的形状为弓形,或者为圆心角在30°~90°范围内的环形。