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专利号: 2018112673566
申请人: 哈尔滨学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器,其特征在于该谐振器为周期结构,每个单元的金属谐振单元分布在硅衬底上,每个金属谐振单元包括一个U型金属带和两条条形带,U型金属带位于两条条形带之间,并且条形带平行于U型金属带的纵向边,同时硅层和石墨烯依次覆盖在金属谐振单元上。

2.根据权利要求1所述的一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器,其特征在于金属谐振单元材料为铝。

3.根据权利要求1所述的一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器,其特征在于硅衬底的长边长Py=22μm,Px=16μm,U型金属带的横向边边长W1=8μm,U型金属带的带宽W2=1.5μm,U型金属带的纵向边边长L2=5.75μm,条形带的带宽W3=1μm,条形带的带长L1=15μm,条形带与U型金属带的间距s=0.5μm。

4.根据权利要求1所述的一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器,其特征在于硅衬底厚度为10μm,硅层厚度为1μm。

5.根据权利要求1所述的一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器,其特征在于石墨烯表面和硅衬底各引出一个电极。

6.一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器的制备方法,其特征在于该方法具体按以下步骤进行:一、采用微加工技术在硅衬底上加工U型金属带和条形带;

二、采用化学气相沉积法在U型金属带和条形带上覆盖硅层;

三、采用化学气相沉积法制备石墨烯,然后采用湿法转移技术将石墨烯覆盖在硅层表面上;

四、将石墨烯表面和硅衬底各引出电极,完成所述基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器的制备方法。

7.根据权利要求6所述一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器的制备方法,其特征在于步骤一中硅衬底厚度为10μm。

8.根据权利要求6所述一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器的制备方法,其特征在于步骤一中U型金属带和条形带的材质为铝。

9.根据权利要求6所述一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器的制备方法,其特征在于步骤一中条形带与U型金属带的间距s=0.5μm。

10.根据权利要求6所述一种基于铝-石墨烯的幅度可调电磁诱导透明谐振器的制备方法,其特征在于步骤二中硅层厚度为1μm。