1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：

腔室；

与腔室连通的装载部，所述装载部用于承载盒体，所述盒体内装载有晶圆；

位于所述腔室内的第一转移装置，用于自装载部将盒体转移至所述腔室内；

位于所述腔室内的第一清洗腔，用于承载通过第一转移装置移入的盒体，并对所述盒体进行清洗；

位于所述腔室内的第二转移装置，用于自装载部将晶圆转移至所述腔室内；

位于所述腔室内的第二清洗腔，用于承载通过第二转移装置移入的晶圆，并对晶圆进行清洗；

还包括：位于所述腔室内的第三转移装置，用于自第一清洗腔转移盒体；位于所述腔室内的第一干燥腔，用于承载通过第三转移装置移入的盒体，并对所述盒体进行干燥；位于所述腔室内的第四转移装置，用于自第二清洗腔转移晶圆；位于所述腔室内的第二干燥腔，用于承载通过第四转移装置移入的晶圆，并对晶圆进行干燥。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述盒体包括：盒身、开口以及盖合开口的盒盖；所述晶圆清洗装置还包括：位于第一清洗腔内的第一固定装置，用于固定盒身；位于所述第一清洗腔内的第二固定装置，用于固定盒盖；位于所述第一清洗腔内的第一清洗部件，用于清洗盒身的内表面；位于所述第一清洗腔内的第二清洗部件，用于清洗盒盖；与腔室连通的卸载部，用于承载自第一清洗腔移出的盒体以及自第二清洗腔移出的晶圆。

3.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一清洗部件包括：连接部，所述连接部包括相对的第一端和第二端，所述第一端与第一清洗腔内侧壁连接；安装于所述第二端的刷头以及位于刷头周围的第一喷头，所述第一喷头用于向盒身内表面喷射第一清洗液；所述第二清洗部件包括：第二喷头，所述第二喷头用于向盒盖喷射第二清洗液。

4.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述卸载部和装载部设置于腔室相对的两端。

5.如权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一固定装置可动安装于第一清洗腔内，所述第一清洗部件可动安装于第一清洗腔内，且所述第一固定装置的运动与第一清洗部件的运动同步；所述第二固定装置可动安装于第一清洗腔内，所述第二清洗部件可动安装于第一清洗腔内，且所述第二固定装置的运动与第二清洗部件的运动同步。

6.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括：设于第一清洗腔内侧壁的第三清洗部件，所述第三清洗部件包括第三喷头，所述第三喷头用于向盒身外表面喷射第三清洗液。

7.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置还包括：可动安装于第一干燥腔内的第三固定装置，用于固定盒身；可动安装于所述第一干燥腔内的第四固定装置，用于固定盒盖；可动安装于所述第一干燥腔内的第一干燥部件，用于干燥盒身的内表面；可动安装于所述第一干燥腔内的第二干燥部件，用于干燥盒盖；所述第三固定装置的运动与第一干燥部件的运动同步；所述第四固定装置的运动与第二干燥部件的运动同步。

8.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述装载部与卸载部位于腔室的同一侧。

9.一种如权利要求1至权利要求8任一项所述晶圆清洗装置的工作方法，其特征在于，包括：提供所述晶圆清洗装置；

提供盒体，所述盒体内承载有晶圆；

将盒体和位于盒体内的晶圆置于装载部上；

利用第一转移装置从装载部上取下盒体，并将盒体放置于第一清洗腔内，对盒体的内表面进行清洗；

利用第二转移装置从装载部上取下晶圆，并将晶圆放置于所述第二清洗腔内，对晶圆进行清洗。