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专利号: 2018114119724
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种调节GaSb纳米线探测器响应波长的方法,所述GaSb纳米线探测器包括:单根GaSb纳米线,GaSb纳米线两端的Cr/Au电极,Si衬底,Si衬底表面自然氧化层SiO2层,PECVD沉积在ITO薄膜之外区域的SiO2层,ITO规则周期图形薄膜层,ITO薄膜表面Au正电极,Si衬底背面用于在ITO材料上施加电场的Ni/Au负电极,其特征在于,这种方法采用电子束光刻技术将ITO规则周期图形结构制备在单根GaSb纳米线两侧,通过在ITO材料两侧施加电场改变ITO材料的表面等离子体共振频率,通过对ITO两端电场的调节,实现ITO材料表面等离子体共振频率的调节,进而改变GaSb纳米线探测器的特征响应波长,从而实现对GaSb纳米线探测器响应波长的连续调节。

2.根据权利要求1所述的一种调节GaSb纳米线探测器响应波长的方法,其特征在于,上述用于实现一种调节GaSb纳米线探测器响应波长的方法,具体实现方法如下:步骤一:采用分子束外延(MBE)在Si衬底上用Ga金属液滴自催化生长GaSb纳米线;

步骤二:将GaSb纳米线从Si衬底上剥离,采用电子束光刻技术制备单根纳米线探测器件;

步骤三:采用电子束光刻技术在纳米线周围制备ITO图形结构,并在ITO上下两端制备电极,构造电场调节表面等离子体增强频率的GaSb纳米线探测器原型器件;

步骤四:对ITO两端施加不同大小的电场,获得电场调节表面等离子体频率增强的GaSb单根纳米线探测器响应波长的连续可调。

3.根据权利要求1所述的一种调节GaSb纳米线探测器响应波长的方法,其特征在于,用于调节表面等离子体共振频率的ITO材料采用电子束光刻技术制备在单根GaSb纳米线的两侧,并在ITO材料正面制备Au正电极,在ITO材料背面Si衬底背面制备Ni/Au电极,所述正电极和所述负电极用于对ITO材料施加可调节的电场。