1.一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)将不锈钢箔基体分别用丙酮及去离子水超声清洗，将预处理好的基体放入等离子溅射炉体内的载物台上，并用保温套罩住，样品上方的钛为源极靶材；

2)基片表面形成一层等离子辉光放电，同时靶材表面也形成一层等离子辉光放电区，两层等离子辉光放电区交叠增强成膜效率，辉光放电提高基体表面活化能力，促使与靶材元素之间形成互扩散界面层；

3)打开等离子溅射成膜设备及冷水泵，使用机械泵将镀膜炉体气压抽至2-5Pa，再使用-4分子泵将炉体背底真空度抽至(3-6)×10 Pa，使炉内保持高真空状态；

4)将炉内充入氩气，再重新抽到极限真空度，以排出炉内的空气；

5)向炉体按比例充入氩气和氧气，打开工件电源并施加300-350V电压，对试样进行10-

30分钟预轰击；

6)预轰击之后调节工作电压和源极电压，使工件和源极达到工作温度，稳定各工艺参数并开始保温镀膜；

7)依次关闭源极电源、阴极电源和气源，然后将真空炉内抽至(2-5)×10-4Pa真空度，冷却到室温出炉取出，即得到Fe-Cr-Ni共掺入TixOy薄膜中形成多元素复合合金层。

2.根据权利要求1所述的钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：步骤1)中，不锈钢箔基体分别用丙酮及去离子水超声各清洗2-4小时。

3.根据权利要求1所述的钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：步骤1)中，样品与靶材之间的极间距保持在18-22mm。

4.根据权利要求1所述的钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：步骤4)中，将炉内充入氩气至15-25Pa，再抽到极限真空度，重复2-3次，以尽可能排出炉内的空气。

5.根据权利要求1所述的钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：步骤5)中，氩气和氧气体积比为5:1-9:1，使得炉体气压达到35Pa。

6.根据权利要求1所述的钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：步骤6)中，预轰击之后调工作电压至300-350V，将源极电压调到800-950V，使工件和源极达到工作温度500-650℃，稳定各工艺参数并开始保温30min镀膜。

7.根据权利要求1所述的钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：多元素复合合金层中，Fe-Cr-Ni基体复合元素的成分分布较为稳定，而Ti和O的质量百分比随着随氩氧比变化较为明显。

8.根据权利要求1所述的钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，其特征在于：材料表层中Ti的质量百分含量为3.27％-7.08％，O的质量百分含量为12.29％-20.44％，Ti和O的质量百分比变化区间在0.1-0.5之间。