1.一种三维解耦型扫描测头，其特征在于：包括测杆（1）、XY向测量机构（2）、Z向测量机构（3）、测头外壳（4）和弹簧平衡机构（5）；所述的XY向测量机构（2）设置于Z向测量机构（3）内， Z向测量机构（3）设置于测头外壳（4）内，所述弹簧平衡机构（5）设置于Z向测量机构（3）及测头外壳（4）上，所述的测杆(1)与XY向测量机构（2）内的X向膜片安装轴(2-3)相连接；

所述XY向测量机构（2）包括内层框(2-1)、X向膜片(2-2)、Y向膜片(2-3)、X向膜片安装轴(2-4)、两个Y向膜片安装轴(2-5)、X向传感器(2-6)、Y向传感器(2-7)、X向传感器安装架(2-8)、Y向传感器安装架(2-9)、X向连接杆(2-10)和Y向连接杆(2-11)；

所述内层框(2-1)的相对两个框架内分别对称设置有X向膜片（2-2）和Y向膜片（2-3），一对X向膜片的中心通过X向膜片安装轴（2-4）连接，内层框(2-1)外的一端X向膜片安装轴（2-4）上设置有X向电感传感器（2-6）；每个Y向膜片的中心设置有Y向膜片安装轴（2-5），两个Y向膜片安装轴（2-5）的轴线在一条直线上，其中一个Y向膜片安装轴（2-5）的内侧设置有Y向电感传感器（2-7），所述的内层框(2-1)通过Y向膜片安装轴(2-5)设置于外层框(3-1)上，所述X向膜片安装轴(2-4)一端设置有螺纹，另一端为光轴端，所述X向连接杆(2-10)一端连接于X向膜片安装轴(2-4)光轴端的螺孔内，另一端与X向电感传感器(2-6)上的铁芯连接；所述Y向连接杆(2-11)一端连接于Y向膜片安装轴(2-5)一端的螺孔内，另一端与Y向电感传感器(2-7)上的铁芯连接；

所述Z向测量机构包括外层框（3-1）、两个Z向膜片安装轴（3-2）、Z向膜片(3-3)、Z向传感器（3-4）、Z向传感器安装架（3-5）和Z向连接杆（3-6）；

所述外层框(3-1)通过Z向膜片安装轴(3-2)设置于测头外壳(4)上，一对Z向膜片(3-3)分别固定于两个Z向膜片安装轴(3-2)上，两个Z向膜片安装轴(3-2)的轴线在一条直线上，一对Z向膜片(3-3)设置于外层框(3-1)的Z向两端面上，所述Z向传感器安装架（3-5）设置于测头外壳(4)上，所述Z向连接杆（3-6）一端连接在外层框(3-1)上，另一端与Z向电感传感器（3-4）上的铁芯连接。

2.根据权利要求1所述的一种三维解耦型扫描测头，其特征在于：所述的弹簧平衡机构（5）包括拉伸弹簧（5-1）和调整螺钉（5-2），所述的拉伸弹簧（5-1）的一端连接于调整螺钉（5-2）上，另一端连接于Z向测量机构（3）上；调整螺钉（5-2）设置于测头外壳（4）顶部的螺孔内。

3.根据权利要求1或2所述的一种三维解耦型扫描测头，其特征在于：所述的X向电感传感器（2-6）的线圈设置于X向电感传感器安装架（2-8）上并通过螺栓进行锁紧。

4.根据权利要求3所述的一种三维解耦型扫描测头，其特征在于：所述的Y向电感传感器（2-7）的线圈设置于Y向电感传感器安装架(2-9)上并通过螺栓进行锁紧。

5.根据权利要求4所述的一种三维解耦型扫描测头，其特征在于：所述X向传感器安装架(2-8)通过螺钉安装在内层框(2-1)外部；所述Y向传感器安装架(2-9)通过螺钉安装在内层框(2-1)内部。

6.根据权利要求5所述的一种三维解耦型扫描测头，其特征在于：所述X向膜片安装轴(2-4)的螺纹与测杆(1)连接并将该端的X向膜片夹紧，光轴端上的X向膜片通过弹性挡圈固定。

7.根据权利要求6所述的一种三维解耦型扫描测头，其特征在于：所述Z向传感器（3-4）的线圈设置于Z向传感器安装架（3-5）上并通过螺栓进行锁紧。