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专利号: 2018114908922
申请人: 金华伏安光电科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-11-21
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于石墨烯的微弱声波探测器,包括衬底层(1),其特征在于:所述衬底层(1)的上方设置有压电材料层(2),所述压电材料层(2)的上方设置有绝缘层(3),所述绝缘层(3)的上方设置有石墨烯层(4);所述压电材料层(2)中设置有周期性分布的缝隙(5),所述缝隙(5)与所述压电材料层(2)接触的边与所述衬底层(1)之间的夹角角度为60°~80°。

2.如权利要求1所述的一种基于石墨烯的微弱声波探测器,其特征在于:所述衬底层(1)为二氧化硅。

3.如权利要求1所述的一种基于石墨烯的微弱声波探测器,其特征在于:所述压电材料层(2)为压电陶瓷、压电晶体、压电有机物。

4.如权利要求1或3所述的一种基于石墨烯的微弱声波探测器,其特征在于:所述压电材料层(2)的厚度为100nm~1000nm。

5.如权利要求1所述的一种基于石墨烯的微弱声波探测器,其特征在于:所述绝缘层(3)为二氧化硅、三氧化二铝、聚乙烯。

6.如权利要求1或5所述的一种基于石墨烯的微弱声波探测器,其特征在于:所述绝缘层(3)的厚度为20nm~1000nm。

7.如权利要求1所述的一种基于石墨烯的微弱声波探测器,其特征在于:所述缝隙(5)的宽度为200nm~1000nm。

8.如权利要求1所述的一种基于石墨烯的微弱声波探测器,其特征在于:所述石墨烯层(4)为周期性石墨烯微结构制成。