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专利号: 2018115188469
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种石墨烯网栅薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一、通过化学气相沉积法在铜箔表面生长石墨烯薄膜,之后将石墨烯/铜箔置于匀胶机中,以1500-3200 r/min的速率旋涂50 100s,将PMMA丙酮溶液旋涂在石墨烯/铜箔上表~面;将其置于加热台上,加热至60 100°C 并保温20 40min;

~ ~

步骤二、将铜箔漂浮于0.8 1.2mol/L的氯化铁溶液上,铜箔下表面与氯化铁溶液接触~进行腐蚀,腐蚀时间6 12h;将漂浮于氯化铁溶液上的石墨烯薄膜捞起置于去离子水上漂~洗,重复三遍;

步骤三、将石英平板置于去离子水中,超声清洗5min;之后将其置于匀胶机中,以2000~

4000r/min的速率旋涂10 30s,将光刻胶旋涂在石英平板上表面;将旋涂光刻胶的石英平板~置于加热台上,加热至60 90°C 并保温8 15min;

~ ~

步骤四、使用网栅掩膜版对石英平板上表面的光刻胶进行曝光,曝光时间10 40s;之后~对光刻胶进行显影,显影时间为30 60s;将显影后的石英平板置于去离子水中,超声清洗~

7min,重复三遍;

步骤五、用石英板的上表面将步骤一中漂浮于去离子水上的石墨烯薄膜捞起,使其吸附于光刻图案上,将石英板竖立沥干20 40min;将吸附有石墨烯薄膜的石英板置于加热台,~加热至90 130°C并保温15 30min;

~ ~

步骤六、将石英板置于丙酮中,水浴加热至35 55°C并保温20 40min,去除光刻胶图案~ ~及其表面的石墨烯薄膜;将石英板从丙酮溶液中捞出,置于去离子水中漂洗,重复三遍,氮气吹干。

2.根据权利要求1所述石墨烯网栅薄膜的制备方法,其特征在于:在步骤四中,所述网栅掩膜版选用矩形网栅掩膜版、圆形网栅掩膜版或正五边网栅掩膜版。