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专利号: 201811527124X
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种垂直结构的LED外延片的制备方法,其特征在于,包括:在清洗后的金属衬底表面蒸镀金属层;

将清洗后的所述金属衬底放置在MOCVD反应室中,以利用MOCVD法得到垂直结构的LED外延片:在清洗后的所述金属衬底表面生长GaN成核层;

将生长有所述GaN成核层的所述金属衬底从MOCVD反应室取出,并放置在HVPE反应室内,在所述GaN成核层表面生长P型纳米线层,并在所述P型纳米线层表面生长P型纳米线融合层;

将生长有所述P型纳米线融合层的金属衬底从所述HVPE反应室内取出,并放置在所述MOCVD反应室内,并在所述GaN成核层表面生长P型GaN层;

在所述P型GaN层表面生长GaN阻挡层,并在所述GaN阻挡层表面生长多量子阱层;

在所述多量子阱层上生长N型GaN层,以得到垂直结构的LED外延片。

2.根据权利要求1所述的垂直结构的LED外延片的制备方法,其特征在于,在所述GaN阻挡层表面生长InGaN/GaN多量子阱层,包括:在所述GaN阻挡层表面生长多周期结构的InGaN/GaN多量子阱层。

3.一种垂直结构的LED外延片,其特征在于,包括金属衬底、及依次设置在所述金属衬底上的GaN成核层、P型GaN层、GaN阻挡层、多量子阱层、N型GaN层;

还包括:

设置在所述金属衬底与所述GaN成核层之间的金属层、设置在所述GaN成核层及所述P型GaN层之间的P型纳米线层、及设置在所述P型纳米线层及所述P型GaN层之间的P型纳米线融合层。

4.根据权利要求3所述的垂直结构的LED外延片,其特征在于,所述金属层为镍层。

5.根据权利要求3所述的垂直结构的LED外延片,其特征在于,所述金属衬底为钼衬底。

6.一种垂直结构的LED芯片,其特征在于,包括如权利要求3至5任一项所述的垂直结构的LED外延片。