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专利号: 2018115271254
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种LED外延片,其特征在于,包括金属衬底、设置在所述金属衬底表面的GaN成核层、设置在所述GaN成核层表面的N型GaN层、设置在所述N型GaN层表面的多量子阱层、设置在所述多量子阱层表面的GaN阻挡层、设置在所述GaN阻挡层表面的P型GaN层。

2.根据权利要求1所述的LED外延片,其特征在于,还包括设置在所述金属衬底与所述GaN成核层之间的金属层、设置在所述GaN成核层表面的N型GaN纳米线层、及设置在所述N型GaN纳米线层且与所述N型GaN层相接触的N型GaN纳米线融合层。

3.根据权利要求2所述的LED外延片,其特征在于,所述金属层为镍层。

4.根据权利要求1所述的LED外延片,其特征在于,所述金属衬底为钼衬底。

5.根据权利要求1至4任一项所述的LED外延片,其特征在于,所述多量子阱层为InGaN/GaN多量子阱层。

6.根据权利要求5所述的LED外延片,其特征在于,在所述InGaN/GaN多量子阱层中,InGaN的组分比例为15%,GaN的组分比例为85%。

7.根据权利要求6所述的LED外延片,其特征在于,所述InGaN/GaN多量子阱层为5周期结构,每个周期结构包括InGaN层、及GaN层。

8.一种LED芯片,其特征在于,包括如权利要求1至7任一项所述的LED外延片。

9.一种LED外延片的制备方法,其特征在于,包括:

在清洗后的金属衬底表面生长GaN成核层,并在所述GaN成核层的表面生长N型GaN层;

在所述N型GaN层的表面生长多量子阱层,并在所述多量子阱层表面生长GaN阻挡层;

在所述GaN阻挡层表面生长P型GaN层,以制备LED外延片。

10.根据权利要求9所述的LED外延片的制备方法,其特征在于,在清洗后的金属衬底表面生长GaN成核层之前,还包括:在清洗后的所述金属衬底表面蒸镀金属层;

在清洗后的金属衬底表面生长GaN成核层之后,还包括:

在所述GaN成核层表面生长N型GaN纳米线层,并在所述N型GaN纳米线层表面生长N型GaN纳米线融合层。