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专利号: 2018115735386
申请人: 西安交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-07-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统,其特征在于,包括圆形基底(1)、聚焦型叉指换能器(2)、三电极系统(3)、隔膜(4)、圆环形液体反应池(5)以及由测温电阻(6)和薄膜热电材料(7)组成的温控结构,其中弧形叉指换能器(2)、三电极系统(3)蒸镀在圆形基底(1)上方;隔膜(4)溅射于圆形基底(1)下方;通过氧等离子体表面处理将圆环形液体反应池(5)与圆形基底(1)键合,圆环形液体反应池(5)位于圆形基底(1)上方;温控结构中测温电阻(6)溅射在隔膜(4)上,薄膜热电材料(7)附着在圆环形液体反应池(5)壁处,上下交错的叉指换能器、具有压电特性的基底 。

2.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统,其特征在于,所述圆形基底(1)材质为压电材料铌酸锂晶体。

3.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统,其特征在于,聚焦型叉指换能器(2)由一对弧形叉指和弧形反射栅(8)组成,弧形叉指的圆心角度、孔径距离、上下交错距离、中心频率随着不同反应物的反应需求进行调整,弧形叉指以圆环形液体反应池(5)圆心位置对称排布,叉指的外围布有弧形反射栅(8)。

4.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统,其特征在于,所述的三电极系统(3)由工作电极(9)、对电极(10)、参比电极(11)构成,三电极系统(3)蒸镀在圆形基底(1)上,在中间电极涂覆氯化银形成参比电极(11)。

5.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统,其特征在于,所述液体反应池(5)为圆环形,使用刀具模型切割添加固化剂的PDMS而成,键合于叉指换能器(2)中心位置处。

6.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统,其特征在于,所述隔膜(4)为二氧化硅薄膜。

7.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统,其特征在于,所述温控结构由测温电阻(6)和薄膜热电材料(7)组成,测温电阻(6)溅射在隔膜上,位于液体反应池(5)的正下方,薄膜热电材料(7)附着在液体反应池(5)池壁处。