1.两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,包括用作承载物体的动台面(1),其特征是:所述的动台面(1)的下方间隙设有定台体(2),所述的定台体(2)内间隙设有动台体(4),所述的动台体(4)和所述的动台面(1)之间螺固有第一螺钉(11);所述的动台体(4)包括沿自身逆时针方向顺次垂直设置的第一边缘(41)、第二边缘(42)、第三边缘(43)和第四边缘(44);所述的定台体(2)与所述的第一边缘(41)之间连有能弹性形变的第一导向单元(101);所述的定台体(2)与所述的第二边缘(42)之间分别连有能弹性形变的第二导向单元(102)和第三导向单元(103);所述的定台体(2)与所述的第三边缘(43)之间连有能弹性形变的第四导向单元(104);所述的定台体(2)与所述的第四边缘(44)之间分别连有能弹性形变的第五导向单元(105)和第六导向单元(106);所述的第一导向单元(101)内设有能向动台体(4)方向伸缩的第一驱动单元(51),所述的第二导向单元(102)内设有能向动台体(4)方向伸缩的第二驱动单元(52),所述的第三导向单元(103)内设有能向动台体(4)方向伸缩的第三驱动单元(53);
所述的第四导向单元(104)内设有朝向第三边缘(43)的第一传感器组件(61),所述的第五导向单元(105)内设有朝向第四边缘(44)的第二传感器组件(62),所述的第六导向单元(106)内设有朝向第四边缘(44)的第三传感器组件(63);
所述的第一导向单元(101)、第二导向单元(102)、第三导向单元(103)、第四导向单元(104)、第五导向单元(105)和第六导向单元(106)的结构相同,包括连于动台体(4)的第五刚性块(71),呈半框状罩设在第五刚性块(71)外侧的框体(73),连于框体(73)末端和第五刚性块(71)之间的第一柔性薄板(72),在框体(73)上沿着第一柔性薄板(72)长度方向横向突出的第一凸部(74),连于第一凸部(74)且垂直于第一柔性薄板(72)的第二柔性薄板(75),设于所述的定台体(2)且连于第二柔性薄板(75)另一端的第二凸部(76),所述的第二凸部(76)位于所述的第一凸部(74)和动台体(4)之间;
所述的第一驱动单元(51)、第二驱动单元(52)和第三驱动单元(53)的结构相同,包括设于框体(73)内的桥式放大机构(8)以及设于桥式放大机构(8)内的压电执行器(85),所述的压电执行器(85)平行于所述的第一柔性薄板(72);所述的桥式放大机构(8)包括分设于所述的压电执行器(85)两端的第一刚性块(81)和第三刚性块(83),间隙设于所述的压电执行器(85)的两侧的第二刚性块(82)和第四刚性块(84);顺次连接所述的第一刚性块(81)、第二刚性块(82)、第三刚性块(83)和第四刚性块(84)的第三柔性薄板(86);所述的第三柔性薄板(86)的一端与所述的压电执行器(85)中段之间的距离小于第三柔性薄板(86)的另一端与所述的压电执行器(85)端部之间的距离;
所述的第二刚性块(82)螺固于所述的框体(73),所述的第四刚性块(84)螺固于所述的第五刚性块(71);所述的第一传感器组件(61)、第二传感器组件(62)和第三传感器组件(63)的结构相同,包括螺固于框体(73)的基座(95),以及固设于基座(95)且正对第五刚性块(71)的传感器探头(94)。
2.根据权利要求1所述的两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的基座(95)包括螺固于所述的框体(73)的第一板体(91),平行于所述的第一板体(91)且用于固连所述的传感器探头(94)的第二板体(93),所述的第一板体(91)和所述的第二板体(93)之间连有一对柔性折叠梁(92),一对柔性折叠梁(92)中央的第一板体(91)上设有第一螺纹孔(911),所述的第一螺纹孔(911)内旋设有末端顶于第二板体(93)的调节螺钉(912)。
3.根据权利要求2所述的两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的定台体(2)和所述的框体(73)设有连通第一螺纹孔(911)的第一通孔(913),所述的第一通孔(913)的直径大于所述的调节螺钉(912)的直径。
4.根据权利要求3所述的两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的定台体(2)设有间隙容纳所述的动台体(4)的第一容纳槽(21),位于第一容纳槽(21)边缘用于容纳所述的框体(73)的第二容纳槽(22),所述的框体(73)和所述的第二柔性薄板(75)间隙设于所述的第二容纳槽(22)内。
5.根据权利要求4所述的两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的动台体(4)为矩形框形状,所述的动台体(4)设有正对所述的第四刚性块(84)的第一沉孔(401),所述的第一沉孔(401)内设有旋置于所述的第四刚性块(84)的第二螺钉(402),所述的框体(73)设有正对所述的第二刚性块(82)的第二沉孔(731),所述的第二沉孔(731)内设有旋置于所述的第二刚性块(82)的第三螺钉(202);所述的定台体(2)设有方便所述的第三螺钉(202)置入的第二通孔(201)。
6.根据权利要求5所述的两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的动台体(4)与所述的动台面(1)垂直设有中空孔(12)。
7.根据权利要求6所述的两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的动台体(4)高出所述的定台体(2)、第一驱动单元(51)、第二驱动单元(52)和第三驱动单元(53)的上表面;所述的第一刚性块(81)、第二刚性块(82)、第三刚性块(83)和第四刚性块(84)之间顺次连有第四柔性薄板(87),所述的第四柔性薄板(87)平行间隙设于所述的第三柔性薄板(86)与所述的压电执行器(85)之间。
8.根据权利要求7所述的两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的定台体(2)的底部设有与定台体(2)的外轮廓和中空孔(12)的内轮廓相匹配的底板(3),所述的底板(3)与所述的定台体(2)之间螺固有第四螺钉(31);第一刚性块(81)、第二刚性块(82)、第三刚性块(83)、第四刚性块(84)、第三柔性薄板(86)和第四柔性薄板(87)为一体成型结构;定台体(2)、第二凸部(76)、第二柔性薄板(75)、第一凸部(74)、框体(73)、第一柔性薄板(72)、第五刚性块(71)和动台体(4)为一体成型结构。