1.两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,包括用作承载物体的动台面(5),所述的动台面(5)间隙设有底座(1),其特征是:所述的底座(1)设有呈矩形顺次分布的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24);所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24)独立伸缩且设于所述的动台面(5)下,所述的第一驱动单元(21)与第二驱动单元(22)之间设有正对所述的动台面(5)的第一位移传感器(31),所述的第三驱动单元(23)与第四驱动单元(24)之间设有正对所述的动台面(5)的第二位移传感器(32),所述的第一驱动单元(21)与第四驱动单元(24)之间设有正对所述的动台面(5)的第三位移传感器(33);
所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)、第三驱动单元(23)和第四驱动单元(24)的结构相同,包括压电执行器(43),以及一级桥式放大机构(41)和二级桥式放大机构(42),所述的一级桥式放大机构(41)平行于所述的底座(1),所述的压电执行器(43)的两端顶设于所述的一级桥式放大机构(41)内,所述的二级桥式放大机构(42)套设于一级桥式放大机构(41)的外围,且所述的二级桥式放大机构(42)所在的平面垂直于所述的压电执行器(43)的伸缩方向,所述的二级桥式放大机构(42)螺固于所述的动台面(5)和所述的底座(1)。
2.根据权利要求1所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的一级桥式放大机构(41)包括顶设于压电执行器(43)两端的第一刚性部(411)和第二刚性部(412),以及间隙分设于所述的压电执行器(43)两侧的第三刚性部(413)和第四刚性部(414),使所述的第一刚性部(411)、第三刚性部(413)、第二刚性部(412)和第四刚性部(414)两两连接的第一柔性薄板(415);所述的二级桥式放大机构(42)包括螺固于所述的第三刚性部(413)的第五刚性部(421),螺固于所述的第四刚性部(414)的第六刚性部(422),螺固于所述的动台面(5)的第七刚性部(423),螺固于所述的底座(1)的第八刚性部(424);使第五刚性部(421)、第七刚性部(423)、第六刚性部(422)和第八刚性部(424)两两连接的第三柔性薄板(425),所述的一级桥式放大机构(41)和所述的二级桥式放大机构(42)分别呈菱形。
3.根据权利要求2所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的一级桥式放大机构(41)设有使所述的第一刚性部(411)、第三刚性部(413)、第二刚性部(412)和第四刚性部(414)两两连接的第二柔性薄板(416),所述的第二柔性薄板(416)间隙设于压电执行器(43)和所述的第一柔性薄板(415)之间。
4.根据权利要求3所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的第七刚性部(423)正对所述的动台面(5)设有第一螺纹孔(611),所述的动台面(5)设有与所述的第一螺纹孔(611)相对应的第一沉孔(612),所述的第一沉孔(612)和第一螺纹孔(611)螺固有第一螺钉(61);所述的第八刚性部(424)正对所述的底座(1)设有第四螺纹孔(641),所述的底座(1)设有与所述的第四螺纹孔(641)相对应的第二沉孔(642),所述的第二沉孔(642)和第四螺纹孔(641)螺固有第四螺钉(64);所述的第三刚性部(413)正对所述的第五刚性部(421)设有第二螺纹孔(621),所述的第五刚性部(421)设有与所述的第二螺纹孔(621)相对应的第一通孔(622),所述的第一通孔(622)和第二螺纹孔(621)螺固有第二螺钉(62);所述的第四刚性部(414)正对所述的第六刚性部(422)设有第三螺纹孔(631),所述的第六刚性部(422)设有与所述的第三螺纹孔(631)相对应的第二通孔(632),所述的第二通孔(632)和第三螺纹孔(631)螺固有第三螺钉(63);所述的第一刚性部(411)设有连通压电执行器(43)的第六螺纹孔(661),所述的第六螺纹孔(661)内旋设有第六螺钉(66)。
5.根据权利要求4所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的第一位移传感器(31)、第二位移传感器(32)和第三位移传感器(33)的结构相同,包括螺固于所述的底座(1)的基座(3)以及螺固于所述的基座(3)上的传感器探头(304)。
6.根据权利要求5所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的基座(3)包括螺固于所述的底座(1)的第一板体(301),平行设置于所述的第一板体(301)和动台面(5)之间且螺固有传感器探头(304)的第二板体(303),连接于第一板体(301)和第二板体(303)之间的一对柔性折叠梁(302),所述的第一板体(301)的中央设有第七螺纹孔(671),所述的第七螺纹孔(671)内旋设有第七螺钉(67),所述的第七螺钉(67)的末端顶设于所述的第二板体(303)。
7.根据权利要求6所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的第一板体(301)设有第三沉孔(652),所述的底座(1)设有与所述的第三沉孔(652)相对应的第五螺纹孔(651),所述的第三沉孔(652)和第五螺纹孔(651)螺固有第五螺钉(65)。
8.根据权利要求7所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的底座(1)设有与所述的第七螺纹孔(671)相对应的第三通孔(672)。
9.根据权利要求8所述的两转动一平动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,其特征是:所述的底座(1)的外围设有围挡(11),中央设有贯通底座(1)的管状体(12),所述的围挡(11)和所述的管状体(12)间隙设于所述的动台面(5)的下方,所述的动台面(5)设有与所述的管状体(12)轮廓相适配的中空孔(51);一级桥式放大机构(41)、二级桥式放大机构(42)和底座(1)分别为一体成型结构。