1.两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,包括用作承载物体的动台面(3),其特征是:所述的动台面(3)的下方间隙设有定台体(1),所述的定台体(1)的中间设有第一容纳槽(11),所述的第一容纳槽(11)间隙设有动台体(6),所述的动台体(6)和所述的动台面(3)之间螺固有第一螺钉(51);所述的动台体(6)包括互相垂直的第一边缘(61)和第二边缘(62),所述的第一边缘(61)设有第一传导部(71)和第二传导部(72),所述的第二边缘(62)设有第三传导部(73);
所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的结构相同,对应设于所述的动台体(6)边缘的第二容纳槽(701)内,包括分别朝向所述的动台体(6)且间隙设于所述的第二容纳槽(701)内的刚性部(703)和第一柔性薄板(705),设于刚性部(703) 上且连于第一柔性薄板(705)的一端的第一凸部(704),设于动台体(6)上且连于第一柔性薄板(705)的另一端的第二凸部(702),还包括垂直连于刚性部(703)的第二柔性薄板(706),所述的第二柔性薄板(706)的另一端连于所述的定台体(1);所述的定台体(1)在位于第一容纳槽(11)的边缘设有间隙容纳所述的第二柔性薄板(706)的第三容纳槽(12);所述的第一传导部(71)、第二传导部(72)和第三传导部(73)的各自所述的刚性部(703)远离动台体(6)的一端分别设有第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23)。
2.根据权利要求1所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23)的结构相同,包括桥式放大机构(2),以及设于所述的桥式放大机构(2)内的压电执行器(207),所述的压电执行器(207)平行于所述的第二柔性薄板(706);所述的桥式放大机构(2)包括分设于所述的压电执行器(207)两端的第一刚性块(201)和第三刚性块(203),间隙设于所述的压电执行器(207)两侧的第二刚性块(202)和第四刚性块(204);所述的第二刚性块(202) 螺固设于所述的定台体(1),所述的第四刚性块(204)螺固设于所述的刚性部(703),以及顺次连于第一刚性块(201)、第二刚性块(202)、第三刚性块(203)和第四刚性块(204)之间的第三柔性薄板(205);所述的第三柔性薄板(205)的一端与所述的压电执行器(207)中段之间的距离小于第三柔性薄板(205)的另一端与所述的压电执行器(207)端部之间的距离。
3.根据权利要求2所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的动台体(6)还包括与所述的第一边缘(61)相平行的第三边缘(63),以及与所述的第二边缘(62)相平行的第四边缘(64);所述的第三边缘(63)设有与所述的第一传导部(71)和第二传导部(72)镜像设置的第四传导部(74)和第五传导部(75);所述的第四边缘(64)设有与所述的第三传导部(73)镜像设置的第六传导部(76)。
4.根据权利要求3所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的第四传导部(74)至第六传导部(76)各自的的第二容纳槽(701)的数目为1个,对应的刚性部(703)的数目为1个,所述的第一凸部(704)、第二凸部(702)和第二柔性薄板(706)的数目分别为2个且分设于刚性部(703)的两侧。
5.根据权利要求3所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的第一传导部(71)的第二容纳槽(701)的数目为2个,所述的刚性部(703)的数目2个,所述的第一凸部(704)、第二凸部(702)和第二柔性薄板(706)的数目分别为2个且设于相邻的两个刚性部(703)之间,相邻的两个刚性部(703)在位于所述的第三容纳槽(12)内的一端呈一体成型结构。
6.根据权利要求5所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的定台体(1)设有三个分别容纳第一驱动单元(21)、第二驱动单元(22)和第三驱动单元(23)的第四容纳槽(13),且所述的第四容纳槽(13)连通于所述的第三容纳槽(12);所述的桥式放大机构(2)还包括顺次连接第一刚性块(201)、第二刚性块(202)、第三刚性块(203)和第四刚性块(204)的第四柔性薄板(206),所述的第四柔性薄板(206)平行间隙设于所述的第三柔性薄板(205)与所述的压电执行器(207)之间。
7.根据权利要求6所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的定台体(1)的外轮廓为矩形 ,所述的动台体(6)与所述的动台面(3)垂直设有中空孔(14)。
8.根据权利要求7所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的动台体(6)在位于所述的中空孔(14)的边缘设有用于螺固第一螺钉(51)的凸台(65)。
9.根据权利要求8所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:所述的定台体(1)的底部设有与定台体(1)的外轮廓和中空孔(14)的内轮廓相匹配的底板(4),所述的底板(4)与所述的定台体(1)之间螺固有第二螺钉(52)。
10.根据权利要求9所述的两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,其特征是:
所述的第一刚性块(201)、第二刚性块(202)、第三刚性块(203)、第四刚性块(204)、第三柔性薄板(205)和第四柔性薄板(206)所组成的桥式放大机构(2)为一体成型结构;所述的定台体(11)、第二柔性薄板(706)、刚性部(703)、第一凸部(704)、第一柔性薄板(705)、第二凸部(702)和动台体(6)为一体成型结构。