1.一种多级联动输出的并联微动平台,其特征在于:它包括工作平台(12)、固定杆(10)、底座(15)和三个柔性放大单元结构;
每个所述柔性放大单元结构包括机架和两个压电叠堆驱动器(A);所述机架由线切割分隔成固定块(1)、输出平台(2)、两个输出杆(5)、两个摇杆(7)、两个放大杆一(6)、两个放大杆二(8)、两个放大杆三(9)、两个导向杆一(41)、多个导向杆二(42)和多个机架本体(3);
机架本体(3)上安装有能驱动输出杆(5)运动的压电叠堆驱动器(A),输出杆(5)与放大杆一(6)之间、放大杆一(6)与机架本体(3)之间、放大杆一(6)与摇杆(7)之间、摇杆(7)与机架本体(3)之间以及放大杆二(8)与摇杆(7)之间通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接;放大杆二(8)与机架本体(3)之间通过叶状形柔性铰链(C)连接,放大杆二(8)与输出平台(2)之间布置有与二者通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接的导向杆二(42),输出平台(2)与放大杆三(9)之间布置有与二者通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接的导向杆二(42),放大杆三(9)分别与固定块(1)和机架本体(3)之间布置有通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接的导向杆一(41);
所述底座(15)上固接有呈水平布置的机架和相邻立式布置的两个机架,固定块(1)通过固定杆(10)与底座(15)连接,所述工作平台(12)的两个侧面分别与立式布置的输出平台(2)连接,所述工作平台(12)底面与水平布置的输出平台(2)连接,三个柔性放大单元结构输出驱动工作平台(12)具有在x轴、y轴和z轴方向上的三自由度。
2.根据权利要求1所述多级联动输出的并联微动平台,其特征在于:所述单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)为直圆型双切口柔性铰链。
3.根据权利要求2所述多级联动输出的并联微动平台,其特征在于:所述工作平台(12)为带有向下凸棱的且呈水平布置的十字平台,工作平台(12)的相邻两个侧面与输出平台(2)连接,工作平台(12)的凸棱与水平布置的输出平台(2)连接。
4.根据权利要求3所述多级联动输出的并联微动平台,其特征在于:放大杆二(8)与导向杆二(42)之间、输出平台(2)与导向杆二(42)之间、导向杆二(42)与机架本体(3)之间通过由切割而成的相互垂直设置的两个单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接在一起。
5.根据权利要求4所述多级联动输出的并联微动平台,其特征在于:导向杆一(41)分别与固定块(1)和放大杆三(9)之间通过由切割而成的相互垂直设置的两个单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接在一起。
6.根据权利要求5所述多级联动输出的并联微动平台,其特征在于:两个机架本体(3)之间通过由切割而成的相互垂直设置的两个单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接在一起。