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专利号: 2019101132373
申请人: 聊城大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-03-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种新型“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法,其特征在于,步骤如下:①在晶体的侧面制备三条波导,分别为波导1、波导2和波导3,波导2与波导1和波导3垂直,三条波导相连构成类“之”字形;

②利用精密金刚石刀切割的方法,垂直于该侧面,在两波导交叠形成的正方形区域分别切割形成两个沟槽作为全反射镜,全反射镜与晶体大面的夹角均为45°;

③入射端与出射端的激光腔镜直接固定在晶片的两个大面。

2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述对步骤①的晶体各面进行光学抛光,并清洁表面。

3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤①的波导2与晶体大面平行 。

4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤 切割形成的全反射镜为两波导交叠形成的正方形对角线。

5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤①中的晶体可为Nd:LiNbO3、Yb:YAG、Tm:KLu(WO4)2等晶体。