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专利号: 2019101132388
申请人: 聊城大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-03-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种全晶体波导耦合器的制备方法,其特征在于,当波导A距离晶片某侧边缘小于100微米时,步骤为:使用精密金刚石垂直于晶片侧边缘切割一凹槽,所述凹槽贯通波导A且与晶片上表面呈一定角度的夹角。2.一种全晶体波导耦合器的制备方法,其特征在于,当波导A距离晶片两侧边缘均大于100微米时,步骤为:(1)按照与波导A相同的工艺尺寸,制作与波导A端部交叉的波导B,所述波导B延伸至晶片的侧边缘,在距离该侧边缘小于100微米处的位置,制作另一波导C与侧边缘平行,所述A、B、C波导形成“之”字型结构;(2)在波导A、B及波导B、C的连接处,分别切割一凹槽,所述凹槽与各波导呈一定夹角,以实现波导模式信号的偏折;(3)在波导C侧的晶片侧面,切割一凹槽,所述凹槽贯通波导C且与晶片上表面呈一定角度的夹角。3.如权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述晶片的材质为铌酸锂(LiNbO3)晶体、钇铝石榴石(YAG)晶体、磷酸钛氧钾(KTP)晶体、光学陶瓷或玻璃材料。4.如权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述晶片的尺寸根据需求而定,并对各面进行光学抛光和清洁。5.如权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,各凹槽的深度完全覆盖波导模式。