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专利号: 2019101212861
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种光学薄膜激光损伤阈值快速测量装置,其特征在于包括上位机(1)、系统控制器(2)、激光电源(3)、激光器(4)、分光镜A(5)、激光束辐照单元、能量密度标定单元、光学薄膜损伤判识单元、脉宽探测单元(8)和一维运动台(9);

所述的上位机(1)为工控计算机;

所述的系统控制器(2)为基于单片机的控制系统;

所述的激光电源(3)为脉冲触发式高压电源,分别与系统控制器(2)和激光器(4)相连接;

所述的激光器(4)为毫秒量级、微秒量级、纳秒量级或皮秒量级脉冲宽度的脉冲激光器,输出波长为1064nm、1050nm、532nm或355nm,重复频率位于1Hz~100Hz间;

所述的分光镜A(5)为表面镀制对45度入射激光波长分光膜的平面镜,与入射激光光路呈45度角放置,反射光和透射光强度比例不小于100:1;

所述的激光束辐照单元由分束聚焦单元A(501)和载物台(502)组成;

所述的能量密度标定单元由分光镜B(6)、能量探测器(601)、分束聚焦单元B(602)、光阑(603)和图像传感器A(604)组成;

所述的分光镜B(6)为表面镀制对45度入射激光波长分光膜的平面镜,与入射激光光路呈45度角放置,反射光和透射光强度比例不小于9:1;

所述光学薄膜损伤判识单元由成像光学系统(7)和图像传感器B(701)组成;所述的成像光学系统(7)为显微光学镜头,其放大倍率调节范围为1~10;

所述的脉宽探测单元(8)为高速光电探测器,其上升沿时间的十倍不大于激光器(4)发射的激光脉冲宽度;

所述的一维运动台(9)为一维电控运动台;

所述的分束聚焦单元A(501)和分束聚焦单元B(602)为由扩束镜、达曼光栅和透镜组成的折衍射混合光学系统,透镜焦距不小于40mm;

所述的载物台(502)为二维电控平面运动台,通过螺钉固定在一维电动运动台9上;

所述的能量探测器(601)为热释电探测器,最大单脉冲能量测量值不大于30mJ;

所述的光阑(603)为含有小孔的金属薄片,位于分束聚焦单元B(602)和图像传感器A(604)之间,固定在图像传感器A(604)的入口;

所述的图像传感器A(604)和图像传感器B(701)为CCD相机或CMOS相机,图像传感器A(604)的探测面与分束聚焦单元B(602)的焦平面重合。