1.一种确定MEMS甲烷传感器最佳工作电流的方法,其特征在于,采用MEMS甲烷传感器测量电路实现,该电路包括电流源、电压表、MEMS甲烷传感器和计算机,电流源为MEMS甲烷传感器提供电流、电压表测量MEMS甲烷传感器通以电流之后所产生的电压,所述电压表接线端的“正”端与所述电流源的电流流出端连接MEMS甲烷传感器的一端,所述电压表接线端的“负”端与所述电流源的电流流入端连接MEMS甲烷传感器另一端;电流源与电压表与计算机连接,计算机控制电流源输出电流值的大小同时记录电压表的电压,测量步骤如下:第一步:设定电流源对MEMS甲烷传感器供电的起始电流(IS)、步进电流(IΔ)、终止电流(IE),终止电流(IE)大于起始电流(IS),所述终止电流(IE)与起始电流(IS)的差值除以步进电流(IΔ)为电流步进的步数(CS),电流源从起始电流IS开始以步进电流IΔ步进至终止电流IE的每个电流点的时间长度(t)相同;
第二步:电流源从起始电流(IS)开始,以步进电流(IΔ)扫描至终止电流(IE)结束,完成整个阶梯电流扫描为一次测量,电压表测量MEMS甲烷传感器上产生的与每个电流所对应的电压,记录施加第n个电流值In时的电压值Vn,In的大小为IS+nIΔ,其中序号n为从0至CS的整数,首次测量时选择一个数值较小的终止电流(IE),得到该次测量的电流-电压(I-V)数据;
第三步:根据第二步扫描测量得到的I-V数据,根据欧姆定律计算得到每一个电流值(In)所对应的电阻值(Rn),即得到此次测量的电流-电阻(I-R)数据;
第四步:判断I-R数据中的电阻值(Rn)是否随施加的电流值(In)单调增加,如果电阻值(Rn)随电流值(In)单调增加,则增大电流步进的步数即选取一个更大的终止电流(IE),并重复第二至第三步进行多次测试,相邻两次测量之间的时间间隔不低于T分钟,相邻两次测量之间的时间间隔保持相同,直至电阻值(Rn)不再随电流值(In)增大而是随其减小,即出现极大电阻值,记此次测量得到的I-V数据为完备I-V数据,出现极大电阻值时对应的电流的步数是CS’;
第五步:使用第四步中的完备I-V数据,从第1个步进电流开始依次计算每一个步进电流(IΔk)所对应的电压差(VΔk),电压差(VΔk)的计算方法为计算第k个电流(Ik)时的电压(Vk)与第k-1个电流(Ik-1)时的电压(Vk-1)之间的电压差值,即VΔk=Vk-Vk-1,此时k从1至CS’取值且k为整数,当k=1时,Vk-1为起始电流(IS)所对应的电压;
第六步:寻找所述完备I-V数据中的最大电压差值(VΔmax),记最大电压差值(VΔmax)所对应的电流为施加第m个步进电流时所对应的电流(Im=IS+mIΔ),选择这一电流(Im)为MEMS甲烷传感器的最佳工作电流IW,即MEMS甲烷传感器处于最佳工作点时所需施加的工作电流为IW,可使其输出的甲烷灵敏度最大。
2.根据权利要求1所述的一种确定MEMS甲烷传感器最佳工作电流的方法,其特征在于,第四步中,T的取值为1。
3.一种确定MEMS甲烷传感器最佳工作电流的方法,其特征在于,采用MEMS甲烷传感器测量电路实现,该电路包括电流源、电压表、MEMS甲烷传感器和计算机,电流源为MEMS甲烷传感器提供电流、电压表测量MEMS甲烷传感器通以电流之后所产生的电压,所述电压表接线端的“正”端与所述电流源的电流流出端连接MEMS甲烷传感器的一端,所述电压表接线端的“负”端与所述电流源的电流流入端连接MEMS甲烷传感器另一端;电流源与电压表与计算机连接,计算机控制电流源输出电流值的大小同时记录电压表的电压,测量步骤如下:第一步:设定电流源对MEMS甲烷传感器供电的起始电流(IS)、步进电流(IΔ)、终止电流(IE),终止电流(IE)大于起始电流(IS),所述终止电流(IE)与起始电流(IS)的差值除以步进电流(IΔ)为电流步进的总步数(CS),电流源从起始电流IS开始以步进电流(IΔ)步进至终止电流IE的每个电流点的时间长度(t)相同;
第二步:电流源从起始电流(IS)开始,以步进电流(IΔ)扫描至终止电流(IE)结束,完成整个阶梯电流扫描为一次测量,电压表测量传感上产生的与每个电流所对应的电压,记录施加第n个电流值In时的电压值Vn,In的大小为IS+nIΔ,其中序号n为从0至CS的整数,首次测量时选择一个数值较小的终止电流(IE),得到该次测量的电流-电压(I-V)数据;
k
第三步:计算当前轮次I-V数据的电压差(VΔ),具体为从第1个步进电流开始依次计算每一个步进电流(IΔk)所对应的电压差(VΔk),所述电压差(VΔk)的计算方法为计算第k个电流(Ik)时的电压(Vk)与第k-1个电流(Ik-1)时的电压(Vk-1)之间的电压差值,VΔk=V-k-Vk-1,此时k从1至CS取值且k为整数,当k=1时,Vk-1=V0为起始电流(IS)所对应的电压;
k
第四步:判断当前轮次I-V数据中的是否随着电流的增大电压差值(VΔ)出现极大值(VΔmax),如当前轮次I-V数据的电压差值(VΔk)随电流单调增加则增大终止电流,重复第一步至第三步,直至随着电流的增大电压差值(VΔk)出现极大值(VΔmax)为止,记所述极大电压差值(VΔmax)所对应的电流为施加第m个步进电流时所对应的电流(Im=IS+mIΔ),并选择这一m电流(I)为MEMS甲烷传感器的最佳工作电流IW,即当给MEMS甲烷传感器所施加的电流为IW时所输出的甲烷灵敏度最大。
4.根据权利要求1或3所述的一种确定MEMS甲烷传感器最佳工作电流的方法,其特征在于,所述MEMS甲烷传感器测量电路可替换为如下结构,具体为依次连接、形成环路的单片机、DAC转换器、电流源芯片、MEMS甲烷传感器、阻抗变换单元、电压衰减单元、ADC电路,所述单片机控制DAC输出电压以控制流过MEMS甲烷传感器的电流,实现对传感元件两端电压的测量、电压数据读取、存储与计算分析。