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专利号: 2019101943195
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于相变存储器的Mg-Sn-Sb薄膜材料,其特征在于,所述Mg-Sn-Sb的结构通式为MgxSnySbz,其中x+y+z=100,0.1

2.根据权利要求1所述的Mg-Sn-Sb薄膜材料,其特征在于,20≤x≤36,13≤y≤17。

3.根据权利要求1所述的Mg-Sn-Sb薄膜材料,其特征在于,所述MgxSnySbz为Mg20Sn17Sb63、Mg24Sn16Sb60、Mg28Sn15Sb57、Mg32Sn14Sb54或Mg36Sn13Sb51。

4.根据权利要求1所述的Mg-Sn-Sb薄膜材料,其特征在于,所述Mg-Sn-Sb薄膜材料的厚度为50nm。

5.一种如权利要求1~4任一项所述的Mg-Sn-Sb薄膜材料的制备方法,其特征在于,具体包括如下步骤:(1)磁控溅射的准备:

将洗净的待溅射的氧化硅衬底放置在中间样品盘上,将Mg80Sn20靶材和Sn20Sb80靶材分别安装在磁控射频溅射靶中,并将磁控溅射镀膜系统的溅射腔室进行抽真空,使用高纯氩气作为溅射气体;

(2)磁控溅射制备MgxSnySbz薄膜材料:

分别清洁Mg80Sn20靶材和Sn20Sb80靶材表面,然后改变射频电源功率,进行共溅射,获得MgxSnySbz薄膜材料。

6.根据权利要求5所述的一种Mg-Sn-Sb薄膜材料的制备方法,其特征在于,步骤(2)具体为:a、调整Mg80Sn20靶材和Sn20Sb80靶材的角度,使其溅射点位于中间样品盘,打开Mg80Sn20靶材和Sn20Sb80靶材上的射频电源,依照设定的溅射时间和功率,开始溅射样品,进行清洁Mg80Sn20靶材和Sn20Sb80靶材表面;

b、改变Mg80Sn20靶材和Sn20Sb80靶材上的射频电源功率,重新对待溅射的样品盘进行溅射,获得MgxSnySbz薄膜材料。

7.根据权利要求5所述的一种Mg-Sn-Sb薄膜材料的制备方法,其特征在于,步骤(1)中高纯氩气中Ar的体积百分比≥99.999%,高纯氩气流量为20SCCM~40SCCM,溅射气压为

0.15Pa~0.35Pa。

8.根据权利要求5所述的一种Mg-Sn-Sb薄膜材料的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述射频电源功率为30W~100W。