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专利号: 201910202165X
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种覆切削液的工件表面微观形貌测量方法,其特征是:应用一种覆切削液的工件表面微观形貌测量装置,包括以下步骤,且以下步骤顺次进行,步骤一、通过计算机(11)向运动控制器(16)发送运动指令信号,控制X轴运动台(13)和Y轴运动台(14)移动至样品(12)的表面采样点处,控制Z轴运动台(15)移动至初始Z向位置;

步骤二、打开激光器(1)和光谱仪(9)、通过计算机(11)向运动控制器(16)发送运动指令信号,控制Z轴运动台(15)进行Z向扫描,计算机(11)采集光谱仪(9)传输的荧光光谱检测信号,并记录激光焦点到切削液表面的Z向位置和激光焦点到切削液与工件交界面的Z向位置;

步骤三、通过所述步骤二光谱仪(9)采集的荧光光谱检测信号计算切削液厚度dm;

步骤四、通过所述步骤三获得的切削液厚度,计算实际样品(12)表面切削液厚度dr;

步骤五、通过步骤二记录的Z向位置和步骤三计算获得的切削液厚度,计算采样点的相对高度;

步骤六、重复步骤一到步骤五,完成样品(12)表面所有采样点的高度计算,建立样品(12)表面的高度矩阵图;

步骤七、对步骤六获得的工件表面的高度矩阵图做插值计算,获得样品(12)表面微观形貌图。

2.根据权利要求1所述的一种覆切削液的工件表面微观形貌测量方法,其特征是:所述步骤四中计算实际样品(12)表面切削液厚度dr的计算方法为,其中,n1为大气折射率,n2为切削液折射率,NA表示物镜的数值孔径。

3.根据权利要求1所述的一种覆切削液的工件表面微观形貌测量方法,其特征是:所述步骤七中的插值计算法为立方插值计算方法。