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专利号: 2019102310289
申请人: 宁波大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2023-08-24
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种以掺杂石墨烯量子点为形核点制备掺杂石墨烯的方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤一:制备铜箔衬底,并依次进行清洗、干燥、退火及冷却,然后留作备用;

步骤二:制备掺杂石墨烯量子点,将其旋涂至铜箔衬底表面,自然干燥;

步骤三:放置于CVD热炉中,在氩气和氢气氛围下,通入甲烷,在1000℃条件下甲烷分解,以掺杂石墨烯量子点为形核点外延生长形成掺杂石墨烯;

步骤四:在掺杂石墨烯表面旋涂PMMA的有机溶液;

步骤五:对掺杂石墨烯表面进行烘干,掺杂石墨烯表面的有机溶剂挥发,形成PMMA保护层;

步骤六:将上述样品浸泡至过硫酸铵溶液中,将铜箔衬底腐蚀,然后取出用去离子水冲洗;

步骤七:将样品用滤纸转移至目标衬底,并进行烘烤,使得掺杂石墨烯与目标衬底粘结;

步骤八:将样品转移至丙酮溶液中溶解PMMA保护层;

步骤九:取出样品,并进行烘干;

掺杂石墨烯量子点中的掺杂元素为N和/或P。

2.根据权利要求1所述的以掺杂石墨烯量子点为形核点制备掺杂石墨烯的方法,其特征在于:所述N和/或P的掺杂浓度正比于石墨烯量子点浓度。

3.根据权利要求1所述的以掺杂石墨烯量子点为形核点制备掺杂石墨烯的方法,其特征在于:所述氩气流量为200sscm,氢气流量为10sccm,甲烷流量为5sccm,PMMA的浓度为2g/L,丙酮温度为80℃,样品在丙酮内浸泡时间不少于3小时。

4.根据权利要求1所述的以掺杂石墨烯量子点为形核点制备掺杂石墨烯的方法,其特征在于:所述过硫酸铵浓度为60g/L,过硫酸铵不会对掺杂石墨烯产生腐蚀。

5.根据权利要求1所述的以掺杂石墨烯量子点为形核点制备掺杂石墨烯的方法,其特征在于:步骤七中,目标衬底为Si/SiO2,由掺杂石墨烯量子点形成的掺杂石墨烯与SiO2通过加热粘结。