1.一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体和用于固定腔体上盖的压盖固定块，所述腔体上盖包括连接在真空腔体的上盖板和位于上盖板顶部的凸台，所述激光头高度微调机构包括至少一个激光头定位块、高度调节块、调节件和锁紧件，所述激光头定位块通过锁紧件固定于高度调节块顶部且将激光头卡住，所述高度调节块和上盖板设置有位置相对的螺纹孔，调节件通过螺纹孔将高度调节块和上盖板连接并通过转动对应螺钉调节高度调节块的高度；所述压盖固定块连接在上盖板的边缘处，所述石英玻璃通过玻璃上压盖压在腔体上盖的顶部，密封法兰连接在腔体上盖，探针切换机构置于腔体上盖底部设置的凹槽内。

2.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述锁紧件为锁紧螺钉，所述调节件为高度调节固定螺钉和机米螺丝，所述高度调节块设置有固定螺钉沉头孔和机米螺丝螺纹孔，所述上盖板设置有激光头高度微调机构螺纹孔和机米螺丝定位孔，所述高度调节固定螺钉通过固定螺钉沉头孔和激光头高度微调机构螺纹孔将高度调节块和上盖板连接，所述机米螺丝通过高度调节块的机米螺丝螺纹孔并落入至上盖板的机米螺丝定位孔，通过旋转机米螺丝对高度调节块进行高度调节，并通过高度调节固定螺钉向下施加向下的力用于锁紧，所述激光头定位块和高度调节块分别设置有位置相对的锁紧螺钉孔，所述锁紧螺钉通过锁紧螺钉孔将激光头定位块和高度调节块固定。

3.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述凸台设置有光窗结构，所述光窗结构包括矩形光窗、石英玻璃密封胶圈槽和第一O型密封圈，所述矩形光窗口开设在凸台中部，所述凸台的顶部向内凹设有围绕矩形光窗的呈环形的石英玻璃密封胶圈槽，石英玻璃将第一O型密封圈封在石英玻璃密封胶圈槽内。

4.根据权利要求3所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述玻璃上压盖中部设置有呈台阶状的通槽，通槽的台阶状边缘将石英玻璃卡在玻璃上压盖的底部，所述玻璃上压盖设置有多个螺纹孔且与凸台设置的玻璃上压盖螺纹孔位置相对，螺钉通过螺纹孔将玻璃上压盖锁紧在凸台的顶部。

5.根据权利要求3所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述上盖板的底部向内凹设有罩住样品的凹槽，所述凹槽在上盖板底部形成槽平台，所述槽平台向内凹设有安装探针切换机构的内槽位，所述矩形光窗与内槽位连通。

6.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，与所述密封法兰用于密封的结构还包括雷默接口、连接在雷默接口底端的雷默接口固定螺母、压电旋转台接头、控制信号接头和密封法兰连接片，所述密封法兰的顶部和底部分别设置有卡入第二O型密封圈的密封圈槽，所述密封法兰的底端将压电旋转台接头密封在上盖板并通过第二O型密封圈压紧，所述密封法兰的顶端与密封法兰连接片将雷默接口固定螺母密封并通过第二O型密封圈压紧，所述雷默接口连接在密封法兰连接片的顶部，所述控制信号接头连接在雷默接口。

7.根据权利要求6所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述探针切换机构包括压电旋转定位台、探针载动块、探针托架、探针和弹簧压片，所述压电旋转定位台固定在内槽位，所述探针载动块连接在压电旋转定位台底部，所述探针托架安装在探针载动块四周，所述探针装于探针托架，所述探针通过安装在探针托架的弹簧压片压紧固定。

8.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，所述上盖板的两端设置有安装压盖固定块的固定槽，所述压盖固定块通过固定槽将上盖板固定在真空腔体。

9.根据权利要求1所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置还包括便于将上盖板翻转的翻盖把手和用于连接腔体上盖翻转支架的连接块，所述翻盖把手通过螺钉固定在凸台侧面，所述连接块通过螺钉连接在高度调节块。

10.根据权利要求6所述的广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置还包括样品载动台和样品载动支座，所述样品载动台连接在样品载动支座顶部，样品放置在样品载动台且位于上盖板的矩形光窗下方。