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专利号: 2019102763344
申请人: 陕西科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-11-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,将钛源和氮源充分混合并研磨;再将研磨后的粉末放入管式炉中,然后在惰性气氛和还原性气氛下将管式炉加热到600~1200℃,保温20~60min,待反应结束后冷却至室温,获得灰黑色的目标产物TiN粉末。

2.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,钛源为钛粉,氮源为氯化铵。

3.根据权利要求1或2所述的常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,钛源与氮源的物质的量比为1:(8~15)。

4.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,管式炉内的真空度低于100Pa。

5.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,管式炉加热的升温速率为2~10℃/min。

6.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,惰性气体为高纯氩气,流量为50~400sccm。

7.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,还原性气体为氢气,流量为20~80sccm。

8.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的方法,其特征在于,制备的TiN粉末颗粒大小为20~200nm。