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专利号: 2019102903212
申请人: 唐山学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纳米氧化锌的制备方法,其特征在于包括如下步骤:(a)按质量比2 4:1称取锌粉和二氧化硅粉,混合后放在石英板上作为锌源;

~

(b)采用Si(100)或Si(111)作为衬底,并预先在所述衬底上铺设锌层,并将具有锌层的衬底放在所述石英板上距离所述锌源1 5毫米的上游位置,然后将石英板放入反应炉中;

~

 (c)用氮气吹扫反应炉使炉内无氧气残留,然后调节氮气流量为200 600sccm,以50~ ~

200°C/min的升温速率升温至600 700°C,然后按体积比0.1 1:100、总流量200 600sccm向~ ~ ~

反应炉通入氮气和氧气的混合气,恒温反应30 60 min,停止加热并保持通入所述混合气,~

打开炉盖使温度骤降至室温。

2.如权利要求1所述的纳米氧化锌的制备方法,其特征在于,通过磁控溅射的方式在所述衬底表面铺设所述锌层,所述衬底剪切成长度为1 2cm的正方形。

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3.如权利要求1所述的纳米氧化锌的制备方法,其特征在于,所述反应炉为水平管式炉,采用红外灯管加热,水平管式炉的炉管为高纯石英管,管径40 50mm,长度1 1.2m。

~ ~

4.一种纳米氧化锌,其特征在于通过如权利要求1、2或3所述的纳米氧化锌的制备方法制成,其结构首先由氧化锌颗粒形成纳米针,然后由纳米针组装成试管刷状,再由试管刷组装成树状结构。

5.如权利要求4所述的纳米氧化锌在制备紫外发射器中的应用。