1.一种光学元件表面微小缺陷二维轮廓的检测方法，其特征在于：所述的检测方法的步骤为：步骤一、激光器发出的激光束经过光束整形系统形成会聚光，会聚光经过样品反射后到达CCD靶面，调整样品的位置和姿态，使会聚光束的会聚点位于CCD的靶面中心且使会聚光轴垂直于CCD靶面，此时反射点到CCD靶面中心的距离为L；

步骤二、光束照在样品表面缺陷区域，CCD上得到散射分布图；

步骤三、对散射分布图利用重心法求出中心位置，以中心位置为基准点，沿不同方向取值可以得到一维的光强分布曲线I(w)，曲线横坐标为该点与基准点之间的距离w，纵坐标为图像的灰度图，对应该点的光强度I由 光强分布曲线转换为l(θ)，转换为二维矩阵[I，θ]，其中I和θ为一维矩阵，元素个数为采样数N取光强I的最大值为Imax,取样间隔为ΔImax，光强I的最小值Imin，取样间隔为ΔImin，设置缺陷在取值方向上的宽度范围为(dmin,dmax)，取值间隔为Δd所述缺陷在取样方向上的宽度计算过程如下：

Step1：设置入射光波长λ，设置I0＝0，Ig＝0，Irms0＝0，d＝dmin；

Step2：读取二维矩阵[I，θ]；

Step3：将d，θ和λ代入 得到一维矩阵α；

Step4:将α，I0和Ig代入 得到一维矩阵I1；

Step5：计算均方根值Irms＝rms(I1-I)；

Step6：如果Irms＜Irms0，则Irms0＝Irms；d′＝d；

Step7：Ig＝Ig+ΔImin，如果Ig＜Imin，则转到Step4Step8：I0＝I0+ΔImax，如果I0＜Imax，则转到Step4Step9：d＜dmin+Δd，如果d＜dmax，则转到Step3Step10：d′为计算的缺陷在取样方向上的宽度；

步骤四、重复步骤三的过程，对于散射图在不同的方向上取值，可以获得缺陷在不同取样方向上的宽度值，由此拟合出缺陷的二维轮廓。