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专利号: 2019103539666
申请人: 中国矿业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种利用太赫兹波测量热障涂层陶瓷层厚度的方法,其步骤是:步骤1.利用太赫兹时域光谱系统分别获取垂直入射的太赫兹信号和待检测热障涂层的太赫兹反射信号,分别作为参考信号和样品信号;

步骤2.获取参考信号和样品信号的峰值Ir、Ii,并计算太赫兹信号的反射能量与入射能量比,并根据能量比与陶瓷层波阻抗η之间的关系求出陶瓷层的折射率n:步骤2.1首先计算太赫兹波信号的反射能量与入射能量比其中Enr、Eni分别表示太赫兹波入射能量和热障涂层表面太赫兹波反射能量,Ir、Ii分别表示样品信号第一个峰的峰值和入射信号的峰值;

步骤2.2当太赫兹波垂直照射到热障涂层的陶瓷层时,热障涂层的陶瓷层的波阻抗η为其中η1=376.73Ω为空气波阻抗;

步骤2.3依据麦克斯韦电磁场理论,热障涂层的陶瓷层的折射率n为其中:μ0和ε0分别为自由空间磁导率和介电常数,εk和μk分别为陶瓷层相对介电常数和相对磁导率;

步骤3:获取样品信号中第一个峰和第二个峰之间的延迟时间Δt,根据太赫兹信号在陶瓷层中的传播过程,可以得到其厚度d其中:c是光速。