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专利号: 2019103714190
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种级联双环增强的傅里叶变换光谱仪,其特征在于,包括一个可调谐的级联双环滤波器(1)和一个傅里叶变换光谱仪(2);

所述可调谐的级联双环滤波器(1)包括输入波导(3)、第一环形谐振腔(71)、第二环形谐振腔(72)、第一加热金属电极(61)、第二加热金属电极(62)、耦合直波导(4)和输出波导(5);所述输入波导(3)与第一环形谐振腔(71)相耦合,第一环形谐振腔(71)有第一加热金属电极(61);第一环形谐振腔(71)通过耦合直波导(4)与第二环形谐振腔(72)级联;第二环形谐振腔(72)有第二加热金属电极(62);第二环形谐振腔(72)与输出波导(5)相耦合,输出波导(5)与傅里叶变换光谱仪(2)的输入端(21)相连接;

所述可调谐的级联双环滤波器(1)的第一环形谐振腔(71)和第二环形谐振腔(72)具有不同的光学长度,产生游标效应;第一加热金属电极(61)和第二加热金属电极(62)在调谐的过程中,始终保持第一环形谐振腔(71)和第二环形谐振腔(72)在一个可调谐的级联双环滤波器(1)的自由光谱范围内只有一个重合的谐振峰为主峰,且主峰与次主峰的比大于

30dB。

2.根据权利要求1所述的一种级联双环增强的傅里叶变换光谱仪,其特征在于,所述傅里叶变换光谱仪(2)由马赫-曾德尔干涉仪(MZI)构成,其一个臂(23)有加热金属电极(24),另外一个臂(22)没有加热金属电极,光从傅里叶变换光谱仪(2)的输出端(25)输出。

3.根据权利要求1所述的一种级联双环增强的傅里叶变换光谱仪,其特征在于,所述傅里叶变换光谱仪(2)由一系列臂长差不等的马赫-曾德尔干涉仪阵列构成,光从傅里叶变换光谱仪(2)的输出波导阵列(26)输出。

4.根据权利要求1所述的一种级联双环增强的傅里叶变换光谱仪,其特征在于,所述傅里叶变换光谱仪(2)由一个带有光栅结构的光波导(27)构成,光栅把平面内的光从垂直方向射出,光波导(27)端面镀有反射率大于99%的反射膜(28)。

5.根据权利要求1所述的一种级联双环增强的傅里叶变换光谱仪,其特征在于,所述傅里叶变换光谱仪(2)由一个多模耦合器(32)和两个宽度不同且相互耦合的第一波导(29)、第二波导(30)构成,第一波导(29)和第二波导(30)之间有光栅(31),把平面内的光从垂直方向射出。