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专利号: 2019104383513
申请人: 曲阜师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于碱刻蚀技术的光纤马赫‑曾德尔干涉仪的制作方法,其特征在于:所述的方法包括以下步骤:

S1:在第一单模光纤(1)和第二单模光纤(3)之间熔接锗芯光纤(2),形成两侧为单模光纤,中部为锗芯光纤(2)的整体结构,锗芯光纤(2)的锗芯(4)直径大于单模光纤纤芯的直径;

S2:把制作的步骤S1中的两侧为单模光纤,中部为锗芯光纤(2)的整体结构,利用砂纸进行侧面抛磨,使锗芯光纤(2)的一部分锗芯(4)裸露在外界环境中;

S3:把步骤S2中经过侧面抛磨的两侧为单模光纤,中部为锗芯光纤(2)的整体结构浸入碱溶液中,利用碱溶液对锗芯(4)进行刻蚀;

S4:经过一段时间后,在经过侧面抛磨的锗芯光纤(2)的锗芯(4)中刻蚀出一个微腔(5),微腔(5)宽度小于锗芯(4)直径;

S5:在第一单模光纤(1)中投射入射光,入射光通过第一单模光纤(1)后被分成两部分,一部分沿锗芯光纤(2)中剩余锗芯(4)传播,另一部分沿步骤S4中形成的微腔(5)传播;

S6:步骤S5中的两部分光被耦合至第二单模光纤(3),两部分光在第二单模光纤(3)中相遇并发生干涉,形成光纤马赫‑曾德尔干涉仪。

2.根据权利要求1所述的基于碱刻蚀技术的光纤马赫‑曾德尔干涉仪的制作方法,其特征在于:所述的第一单模光纤(1)和第二单模光纤(3)为二氧化硅光纤。

3.根据权利要求1所述的基于碱刻蚀技术的光纤马赫‑曾德尔干涉仪的制作方法,其特征在于:所述的锗芯光纤(2)的锗芯(4)掺锗,包层为二氧化硅,锗芯光纤(2)的锗芯(4)直径大于第一单模光纤(1)和第二单模光纤(3)的纤芯直径。

4.根据权利要求1所述的基于碱刻蚀技术的光纤马赫‑曾德尔干涉仪的制作方法,其特征在于:所述的步骤S4中侧面抛磨后露出的锗芯(4)宽度小于锗芯(4)直径。

5.一种根据权利要求1‑4任一所述的基于碱刻蚀技术的光纤马赫‑曾德尔干涉仪的制作方法制作的基于碱刻蚀技术的光纤马赫‑曾德尔干涉仪,其特征在于:包括第一单模光纤(1)和第二单模光纤(3),第一单模光纤(1)和第二单模光纤(3)之间熔接有锗芯光纤(2),锗芯光纤(2)经过侧面抛磨后一部分锗芯(4)裸露在外界环境中,锗芯(4)的内部经过碱溶液刻蚀形成一个微腔(5),微腔(5)的两端分别连通第一单模光纤(1)和第二单模光纤(3)形成光通道,沿锗芯光纤(2)剩余锗芯(4)传播的入射光与沿微腔(5)传播的入射光再次被耦合进入第二单模光纤(3)时发生干涉,形成光纤马赫‑曾德尔干涉仪结构。