1.一种旋转超声加工结合磁力研磨加工微半球凹模阵列的方法，其特征在于：包括研抛模平台，所述研抛模平台包括：换能器、旋转超声磁力工具头、变幅杆、定位基板、镀层铁镍合金球体、工件，换能器连接高频可调超声发射装置，变幅杆上装有可拆卸式旋转超声磁力工具头，所述镀层铁镍合金球体尺寸小于固定基板通孔直径且能够将镀层铁镍合金球体嵌入其中，固定基板和镀层铁镍合金球体间充满粘结剂，镀层铁镍合金球体被固定于工具头前端；

通过导电线圈绕组在工具头前端产生强旋转磁场，旋转装置带动超声工具头高速水平旋转，镀层铁镍合金球体将磁场约束在工具头前端，磁性磨粒被强磁吸附在镀层铁镍合金球体表面，工具头接收给定的频率和振幅带动被约束在前端的镀层铁镍合金球体高速高频振动，激发磁性磨粒将其发射出去冲击工件材料，通过磁性磨粒对衬底材料的机械冲击、剪切、抛磨、加工液的空化现象去除材料，获得微半球凹模阵列；

所述镀层铁镍合金球体为软磁材料表面CVD沉积有超硬耐磨陶瓷材料的球体。

2.如权利要求1所述的一种旋转超声加工结合磁力研磨加工微半球凹模阵列的方法，其特征在于，使用软磁材料将线圈绕组产生的强磁场约束在镀层铁镍合金球体内部，将镀层铁镍合金球体产生强磁性吸附磁性磨粒于表面，使磁性磨粒包覆镀层铁镍合金球体。

3.如权利要求1所述的一种旋转超声加工结合磁力研磨加工微半球凹模阵列的方法，其特征在于，使用可拆卸式旋转工具头，通过旋转装置中的线圈绕组带动变幅杆在水平基面上转动，同时轴向限位装置稳定旋转装置的变幅杆在竖直方向上不产生除超声振动外的抖动。

4.如权利要求1所述的一种旋转超声加工结合磁力研磨加工微半球凹模阵列的方法，其特征在于，磁性磨粒在旋转磁场中呈圆周分布，同时镀层铁镍合金球体旋转方向与圆周方向一致。

5.如权利要求1所述的一种旋转超声加工结合磁力研磨加工微半球凹模阵列的方法，其特征在于，所述镀层铁镍合金球体镀层硬度>磁性磨粒硬度>衬底材料硬度。