1.芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，其特征在于，包括变幅杆、微型超声发生器和工具头，变幅杆上端连接微型超声发生器，变幅杆下端连接可更换的工具头；

在工具头底部设有多层镀层或镀一层0.05mm-3mm的超硬耐磨的涂层，若涂层材料是金刚石，先采用金刚石砂轮对工具底部涂层进行磨削，将涂层表面磨成平面，再采用化学机械抛光的方法对涂层表面抛光，降低涂层表面粗糙度，之后在工具头底部涂层厚度范围内加工微半球凹模阵列，阵列为m*n、m*1或n*n规格，其中，m、n均为自然数，凹模深度小于涂层厚度，半球凹模直径大于等于用于超声发射的球体直径；

工具涂层、半球凹模、球体、导向板和工件间设有研抛液，研抛液中加入羟基自由基浓度约为0.1-0.2mol/L的芬顿试剂。

2.如权利要求1所述的芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，其特征在于，工具头的下方布置导向板，导向板上有s*t(s>＝m,t>＝n)孔阵列，孔径大于等于球体直径。

3.如权利要求2所述的芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，其特征在于，依据待加工微半球凹模阵列深度选择发射球体直径，球径范围为0.1mm-5mm，每个球体被导向板限制X向和Y向运动，Z方向运动被工具头和工件所限制，球体可以自由转动。

4.如权利要求1所述的芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，其特征在于，研抛液所含磨粒的平均粒径范围为几十纳米至几微米，磨粒制备过程如下：用硝酸铈配成溶液，与氧化铝磨粒共同引入球磨机进行超细化处理，干燥后再高温焙烧的方法，制备出以氧化铝为内核，以含有三价铈的氧化铈为外壳的氧化铝-氧化铈核/壳复合磨粒。

5.如权利要求1所述的芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，其特征在于，在非加工区域的工件上覆盖耐氧化保护膜。