1.芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法，其特征在于，包括以下步骤：首先，将碳化硅片工件置于微铣削机床下进行预加工，在碳化硅片工件上生成m*n粗加工的凹球冠阵列，凹球冠直径为最终加工成品的直径，球冠深小于成品所需深度，其中，m、n为自然数；

然后，将变幅杆作为研抛工具的主体，变幅杆下端则通过双头螺柱与可更换的工具头连接，工具头在工作时通过共振传递微型超声发生器的振动，工具头底部加工出m*n阵列凹球坑，球坑直径小于等于球体直径，其中，m、n为自然数。

2.如权利要求1所述的芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法，其特征在于，球体与工具头底部阵列凹球坑内均匀涂抹防水粘接剂，安置球体于阵列球坑内部，使用压板垂直下压球体，使球体上端全部位于同一高度，在工具头和碳化硅片工件旁加装微米级激光视觉定位装置以检测和调控工具头和工件的相对位置。

3.如权利要求1所述的芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法，其特征在于，工具头球体与碳化硅片制成的工件间充满研抛液，研抛液所含磨粒的平均粒径范围为几十纳米至几微米，磨粒为金刚石磨粒，研抛液溶剂为去离子水、煤油，研抛液内包含稳定剂和分散剂。

4.如权利要求3所述的芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法，其特征在于，研抛液中加入羟基自由基浓度0.1-0.2mol/L的芬顿试剂配制成溶液，芬顿溶液中的亚铁离子在过氧化氢的催化下与溶液中的氢氧根离子发生反应生成氧化性极强羟基自由基与三价铁离子，将工件表层的碳化硅氧化为二氧化硅。

5.如权利要求1所述的芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法，其特征在于，非加工区域的碳化硅片上覆盖耐氧化保护膜。

6.如权利要求5所述的芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法，其特征在于，耐氧化保护膜为PTFE塑料膜。