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专利号: 2019104950152
申请人: 重庆理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种BGA板电镀装置,包括电镀电源(1)、容纳电镀液(21)的电镀槽(2)、置于电镀液(21)中的不溶性阳极(3)和用于固定BGA板(100)的夹持件,其特征在于:所述夹持件包括定位壳体(4),该定位壳体(4)具有中空腔室(41),侧壁设有与中空腔室(41)连通的空心管(5),定位壳体(4)的一端设有电镀窗口(42),另一端设有密封端盖(6),所述中空腔室(41)内侧壁沿轴向设有多个与BGA板(100)周沿的定位缺口相适配的定位凸条(43);

还包括置于中空腔室(41)内的探针定位套(7),所述探针定位套(7)上设有多个与BGA板(100)上的焊盘位置相对应的探针孔(71),该探针孔(71)内设有探针(8),所述探针(8)一端抵接于BGA板(100)上的焊盘,另一端与铜片(9)抵接,所述铜片(9)与导线一端连接,该导线另一端穿过空心管(5)与电镀电源(1)连接。

2.根据权利要求1所述的BGA板电镀装置,其特征在于:所述密封端盖(6)朝向中空腔室(41)的一端设有抵压柱(61),用于压紧铜片(9),保证铜片(9)与探针(8)紧密接触。

3.根据权利要求1或2所述的BGA板电镀装置,其特征在于:所述密封端盖(6)内嵌设有密封垫圈。

4.根据权利要求1或2所述的BGA板电镀装置,其特征在于:所述空心管(5)与定位壳体(4)连接的一端设有外螺纹,所述定位壳体(4)侧壁上设有安装通孔,该安装通孔内设有与空心管(5)对应配合的内螺纹。

5.根据权利要求1或2所述的BGA板电镀装置,其特征在于:所述铜片(9)包括第一铜片(91)和第二铜片(92),所述第一铜片(91)固定于空心管(5)的端部,所述第二铜片(92)呈L形,一直角边与第一铜片(91)接触,另一直角边与探针(8)接触。

6.根据权利要求1或2所述的BGA板电镀装置,其特征在于:所述中空腔室(41)内侧壁沿轴向设有多条滑槽,供定位凸条(43)选择性地轴向滑动设于滑槽内,所述滑槽为燕尾槽。

7.根据权利要求1或2所述的BGA板电镀装置,其特征在于:所述定位凸条(42)与BGA板(100)周沿的定位缺口相适配的面为斜面。

8.一种BGA板的电镀方法,其特征在于:采用权利要求1 7任一项所述的BGA板电镀装置~进行电镀,包括如下步骤:

S1、BGA板的固定;

将BGA板的定位缺口与定位壳体内侧壁的定位凸条对齐,从密封端盖端沿压入定位壳体内,BGA板的待电镀面朝向电镀窗口,然后将固定有探针的探针定位套置于定位壳体内,在探针端部放上铜片,安装密封端盖;

S2、连通电镀电源;

通过夹具将定位壳体固定于电镀槽内,电镀窗口浸没于电镀液中,空心管出口端露出于电镀液上方,铜片上的导线通过空心管引出与电镀电源负极连接,电镀电源正极与电镀液中的不溶液阳极连接,设定电镀电源参数,开始电镀。