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专利号: 2019105602683
申请人: 五邑大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-08-27
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1)、生长溶液,将1.0‑2.5g氯化锌或者碳酸锌加入到一定量的乙二醇中,在室温下搅拌均匀,得到混合溶液A;

S2)、将0.4‑1.2g六甲基次四胺加入到10‑40mL的去离子水中,在温度为60‑80℃条件下采用磁力搅拌30‑60min,获得澄清混合溶液B,其中,所述的去离子水与乙二醇的体积比为

1:0.35;

S3)、将混合溶液A和混合溶液B混合,并在室温下磁力搅拌30‑60min,获得所需的生长溶液;

S4)、清洗衬底,采用乙醇、去离子水超声波清洗衬底5‑8次,并采用气枪吹干;

S5)、ZnO纳米多孔薄膜的生长,将生长溶液和清洗干净的衬底放入高压釜当中,密封之后放入烘箱中,在80‑100℃保温3‑20min,然后自然冷却至室温,取出样品,使用乙醇清洗残余溶液,并烘干,即可在衬底上获得ZnO纳米多孔薄膜,所述的ZnO纳米多孔薄膜的孔分为两级,其中,大孔的直径尺寸为300‑800nm,小孔的直径尺寸为10‑80nm。

2.根据权利要求1所述的种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法,其特征在于:步骤S4)中,所述的衬底为2×2cm‑2英寸的玻璃、Si、蓝宝石、金属基板中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法,其特征在于:步骤S4)中,所述的衬底上镀有10‑50nm的ZnO种子层。

4.根据权利要求1所述的一种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法,其特征在于:步骤S5)中,所述的所述ZnO纳米多孔薄膜由ZnO纳米片构成。

5.根据权利要求4所述的一种基于水热法快速生长ZnO纳米多孔薄膜的方法,其特征在于:所述的ZnO纳米片的厚度在10‑30nm。