1.一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构，包括电容感应单元、支撑梁、压阻感应单元和后空腔，其特征在于：

所述的电容感应单元由上下两片嵌入金属的可变形电极膜组成，用于检测较小的负载，在所述电容感应单元左右两端设计开口沟槽,所述开口沟槽位于上下可变形电极膜之间，用于降低电容结构的刚度；其中位于上部的可变形电极膜的下方还设置有内凸起；

所述支撑梁一端垂直连接于电容感应单元的下部的可变形电极膜，另一端连接压阻感应单元，由此连通两种感应单元；

所述的压阻感应单元由四对双层压阻梁组成，压阻梁的一端固定，另一端与支撑梁垂直连接，当电容负载饱和时，力通过支撑梁传递给压阻感应单元，用于检测较大的负载；

所述后空腔由硅衬底蚀刻凹坑形成，位于压阻感应单元下方，用于给压阻感应单元形变的空间。