1.一种基于石墨烯的光电探测器,其特征在于,包括:氧化物衬底层;
硅波导层,形成于所述氧化物衬底层上;其中,所述硅波导层包括矩形硅波导以及微环形硅波导,所述微环形硅波导设置于所述矩形硅波导的第一侧,并与所述矩形硅波导形成微环谐振腔结构;
石墨烯层,设置于所述硅波导层上,并覆盖所述矩形硅波导以及所述微环形硅波导;所述石墨烯层与覆盖的硅波导层上的硅材料形成肖特基势垒;
第一金属电极,设置于所述硅波导层的覆盖有所述石墨烯层的一侧,并位于所述石墨烯层上;
第二金属电极,设置于所述硅波导层的未设置有所述石墨烯层的另一侧;其中,当信号光从所述矩形硅波导耦合进所述微环形硅波导之后,在微环形硅波导内传输,并被覆盖在所述微环形硅波导上的石墨烯层多次吸收,从而提高光电探测器的响应灵敏度。
2.根据权利要求1所述的基于石墨烯的光电探测器,其特征在于,所述氧化物衬底层为二氧化硅。
3.根据权利要求1所述的基于石墨烯的光电探测器,其特征在于,所述微环形硅波导包括第一直线部、第二直线部以及呈半圆形的第一连接部、第二连接部;其中,所述第一直线部与所述第二直线部平行,所述第一连接部与所述第二连接部分别连接于所述第一直线部与所述第二直线部的两端。
4.根据权利要求3所述的基于石墨烯的光电探测器,其特征在于,所述石墨烯层覆盖所述微环形硅波导的第一直线部以及第二直线部。