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专利号: 201910620095X
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种三维柔性力电传感器,其特征在于:一个均匀分布Ag纳米材料的GrF导电骨架结构。

2.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器,其特征在于:所述的GrF导电骨架结构采用镍泡沫为生长基底通过化学气相法进行制备。

3.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器,其特征在于:所述的GrF导电骨架结构为20mm×10mm×1.6mm的长方体。

4.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器,其特征在于:所述GrF导电骨架为中空结构,壁厚为1-2层碳原子层厚度,骨架中分布大小不一的不规则微型孔洞,孔洞尺寸在500μm以内。

5.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器,其特征在于:所述Ag纳米材料为粒径小于10μm的微米颗粒与纳米线的混合物,采用原位水热生长法制备。

6.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器,其特征在于:所述GrF导电骨架采用还原氧化工艺进行制备。

7.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器,其特征在于:GrF导电骨架为其他层数的GrF、三维结构的碳纳米管或者其他碳纳米材料骨架结构。

8.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器,其特征在于:所述Ag纳米材料为原子层沉积技术生长的阵列结构,Ag纳米材料可替换为铂或金纳米材料。

9.根据权利要求1所述的一种三维柔性力电传感器的制备方法,其特征在于:步骤一:在镍泡沫生长基底上通过CVD法生长,生长产物经过稀盐酸刻蚀后,内层镍泡沫被溶解移除,得到GrF导电骨架;

步骤二:在GrF导电骨架上,通过原位水热生长,得到Ag纳米线在GrF骨架上表面联结成网,金属纳米颗粒被网缚在金属纳米线和GrF导电骨架之间;

步骤三:GrF导电骨架两侧设有两个外接金属电极,两个外接电极通过导线引出;

步骤四:填充聚合物;得到三维柔性力电传感器。

10.根据权利要求9所述的一种三维柔性力电传感器的制备方法,其特征在于:所述金属电极为银胶电极。